金融界2025年5月15日消息,国家知识产权局信息显示,京东方华灿光电(浙江)有限公司申请一项名为“晶体管及其制备方法”的专利,公开号CN119993836A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本公开提供了一种晶体管及其制备方法。包括:依次制作缓冲层、沟道层、势垒层、第一介质层、刻蚀阻挡层和第二介质层;在第一刻蚀条件下,采用第一刻蚀气体对第二介质层进行图形化处理;去除对第二介质层进行图形化处理过程中,第一刻蚀气体和刻蚀阻挡层反应产生的杂质;在第二刻蚀条件下,采用第二刻蚀气体对刻蚀阻挡层进行图形化处理;在第三刻蚀条件下,采用第一刻蚀气体对第一介质层进行图形化处理;在第四刻蚀条件下,以所述第二介质层作为硬掩膜,采用第二刻蚀气体对沟道层和势垒层进行图形化处理,形成欧姆接触凹槽。
天眼查资料显示,京东方华灿光电(浙江)有限公司,成立于2014年,位于金华市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本380450万人民币。通过天眼查大数据分析,京东方华灿光电(浙江)有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目40次,专利信息964条,此外企业还拥有行政许可36个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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