财联社5月14日电,中科飞测集成电路量检测设备合作伙伴大会暨上海张江研发中心及生产基地项目启动。中科飞测将投资超10亿元在上海浦东张江成立第二总部,打造超13万平方米的研发与产业化基地,作为公司下一阶段发展的最重要平台,重点开展高端量检测设备的研发及产业化,努力补齐国产高端半导体质量控制设备的短板。
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