北京
金融界2025年5月13日消息，国家知识产权局信息显示，浙江晟霖益嘉科技有限公司申请一项名为“一种空间型原子层沉积设备”的专利，公开号CN119956330A，申请日期为2025年4月。
专利摘要显示，本发明公开了一种空间型原子层沉积设备，所述空间型原子层沉积设备包括：反应腔室，所述反应腔室包括第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁上设置有载盘入口（10a），所述第二侧壁上设置有载盘出口（10b），承载有基片的载盘能够穿过所述载盘入口进入所述反应腔室内部，并且能够穿过所述载盘出口，并离开所述反应腔室；喷淋模块（3），所述喷淋模块包括出气面，所述出气面上形成有多个出气孔，所述喷淋模块设置在所述反应腔室的底部，所述出气面朝向所述反应腔室的顶部；载盘传输装置，所述载盘传输装置用于带动载盘（4）在所述反应腔室内平移，以使得所述基片的待沉积表面与所述出气面相对。
天眼查资料显示，浙江晟霖益嘉科技有限公司，成立于2022年，位于杭州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3308.9244万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江晟霖益嘉科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目9次，财产线索方面有商标信息27条，专利信息23条，此外企业还拥有行政许可6个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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