北京
金融界2025年5月12日消息，国家知识产权局信息显示，纳微半导体科技（合肥）有限公司申请一项名为“一种用于维持远程等离子体源的射频电源”的专利，公开号CN119966257A，申请日期为2025年2月。
专利摘要显示，本发明公开了一种用于维持远程等离子体源的射频电源，包括：三相整流滤波模块，用于将获取的第一交流电信号转化为直流电信号，并消除直流电信号中的噪声和杂波干扰，通过直流电信号为后续电路提供电源信号；全桥LCL‑T谐振逆变模块，用于根据驱动控制模块输出的脉冲信号将所述直流电信号转化为预设频率的第二交流电信号，并将所述第二交流电信号传输给负载端；驱动控制模块，用于输出脉冲信号对全桥LCL‑T谐振逆变模块进行控制，以实现预设的交流电频率。本申请用于维持远程等离子体源的射频电源实现了电源频率在预设功率时能维持等离子体的产生，增加了功率的耦合效率，降低了等离子体源运行过程中产生的热量。
天眼查资料显示，纳微半导体科技（合肥）有限公司，成立于2023年，位于合肥市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，纳微半导体科技（合肥）有限公司专利信息2条。
本文源自：金融界
作者：情报员
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