北京
金融界2025年5月8日消息，国家知识产权局信息显示，宁波润华全芯微电子设备有限公司申请一项名为“一种用于半导体设备的溶液脱气装置”的专利，公开号CN119925997A，申请日期为2025年2月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体制造领域，提供一种用于半导体设备的溶液脱气装置，包括溶液储存罐、氮气加压系统、排气装置、过滤器、通断阀以及喷嘴，所述氮气加压系统接入所述溶液储存罐，所述溶液储存罐与排气装置、过滤器、通断阀以及喷嘴依次通过供液管路相连接，所述排气装置包括储液罐、传感器、进液口、出液口、脱气喷头、以及排气管路，所述进液口与排气管路设置在所述储液罐的上端部，所述出液口设置在所述储液罐的下端部，所述脱气喷头一端设置在所述储液罐内，所述脱气喷头的另一端与供液管路连接，所述脱气喷头内设有多个通道，并且，所述通道直径小于所述供液管路的直径，本发明利用伯努利定律使其溶液脱气，成本低且无需定期维护。
天眼查资料显示，宁波润华全芯微电子设备有限公司，成立于2016年，位于宁波市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本3584.0571万人民币。通过天眼查大数据分析，宁波润华全芯微电子设备有限公司参与招投标项目136次，财产线索方面有商标信息10条，专利信息162条，此外企业还拥有行政许可20个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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