北京
金融界2025年5月6日消息，国家知识产权局信息显示，青岛思锐智能科技股份有限公司申请一项名为“一种离子注入机剂量控制系统、方法及电子设备”的专利，公开号CN119920669A，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，本申请提供一种离子注入机剂量控制系统，应用于控制与调节系统技术领域，该剂量控制系统包括：PLC控制器、I/O数据采集模块以及运动控制模块，PLC控制器与I/O数据采集模块、运动控制模块相连接，PLC控制器中设置有离子注入机的各类剂量控制的控制逻辑，运动控制模块上装载有晶圆，I/O数据采集模块采集离子注入机的各项工业参数，由PLC控制器根据I/O数据采集模块采集到的各项工艺参数，确定目标注入剂量、目标注入速度，并根据该目标注入剂量、目标注入速度直接控制运动控制模块运动，可使得离子注入机根据该目标注入剂量、目标注入速度对晶圆进行离子注入。选用本申请实施例，有效克服了现有的剂量控制系统中所存在的响应效率低、处理精度低的问题。
天眼查资料显示，青岛思锐智能科技股份有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本112128.6051万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛思锐智能科技股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目67次，财产线索方面有商标信息24条，专利信息120条，此外企业还拥有行政许可22个。
本文源自：金融界
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
