金融界2025年5月6日消息,国家知识产权局信息显示,青岛思锐智能科技股份有限公司申请一项名为“一种离子注入机剂量控制系统、方法及电子设备”的专利,公开号CN119920669A,申请日期为2025年1月。
专利摘要显示,本申请提供一种离子注入机剂量控制系统,应用于控制与调节系统技术领域,该剂量控制系统包括:PLC控制器、I/O数据采集模块以及运动控制模块,PLC控制器与I/O数据采集模块、运动控制模块相连接,PLC控制器中设置有离子注入机的各类剂量控制的控制逻辑,运动控制模块上装载有晶圆,I/O数据采集模块采集离子注入机的各项工业参数,由PLC控制器根据I/O数据采集模块采集到的各项工艺参数,确定目标注入剂量、目标注入速度,并根据该目标注入剂量、目标注入速度直接控制运动控制模块运动,可使得离子注入机根据该目标注入剂量、目标注入速度对晶圆进行离子注入。选用本申请实施例,有效克服了现有的剂量控制系统中所存在的响应效率低、处理精度低的问题。
天眼查资料显示,青岛思锐智能科技股份有限公司,成立于2018年,位于青岛市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本112128.6051万人民币。通过天眼查大数据分析,青岛思锐智能科技股份有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目67次,财产线索方面有商标信息24条,专利信息120条,此外企业还拥有行政许可22个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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