金融界 2025 年 4 月 26 日消息,国家知识产权局信息显示,武汉敏声新技术有限公司申请一项名为“一种基于半铙钹结构的 MEMS 传感器及其制备方法”的专利,公开号 CN119858894A,申请日期为 2025 年 1 月。
专利摘要显示,本发明公开了一种基于半铙钹结构的 MEMS 传感器及其制备方法,制备方法包括:提供基底;在基底一侧形成第一结构层,第一结构层包括端盖层,端盖层包括第一水平部、倾斜部和第二水平部,倾斜部两端分别与第一水平部和第二水平部一体连接,第一水平部位于基底上,第二水平部与第一水平部平行,且位于第一水平部远离基底一侧,基底和端盖层之间存在第一间隙;在第一结构层远离基底一侧依次形成下电极层、压电层和上电极层;下电极层与端盖层之间存在第二间隙。通过上述方法,简化了微米级 MEMS 传感器的制备流程,提高了 MEMS 传感器的生产良率和生产效率。
天眼查资料显示,武汉敏声新技术有限公司,成立于2019年,位于武汉市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2411.5347万人民币。通过天眼查大数据分析,武汉敏声新技术有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目5次,财产线索方面有商标信息35条,专利信息300条,此外企业还拥有行政许可2个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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