中微公司2024年营收突破90亿元，重研发大幅缩短设备开发周期

21世纪经济报道记者 张赛男 上海报道

4月17日晚，中微公司（688012.SH）发布2024年年度报告。报告显示，公司全年实现营业收入约90.65亿元，同比增长约44.73%；归属净利润16.16亿元，同比下滑9.53%；扣除非经常性损益的净利润约13.88亿元，同比增长约16.52%。

“这是公司营收首次突破90亿元，”中微公司董事长尹志尧特别提到，这是在过去13年保持营业收入年均增长大于35%、近四年营业收入年均增长大于40%的基础上，2024年营业收入又同比增长了约44.73%。

“其中，刻蚀设备收入约72.77亿元，在最近四年收入年均增长超过50%的基础上，2024年又同比增长约54.72%，公司的综合竞争优势继续得到强化和提升，各项营运的KPI指标已媲美国际先进水平，甚至在按期交付和每台缺陷等关键指标方面超过了国际领先半导体设备企业的水平。”尹志尧说。

刻蚀设备领跑市场

在中微90亿元的营收构成中，刻蚀设备作为核心业务表现尤为亮眼，全年收入约72.77亿元，同比增长约54.73%，近四年年均增速超50%。

目前，中微公司的CCP（Capacitively Coupled Plasma，电容耦合等离子体）高能等离子体刻蚀设备和ICP（Inductively Coupled Plasma，电感耦合等离子体）低能等离子体刻蚀设备已覆盖国内95%以上的刻蚀应用需求，并在5纳米及更先进制程的国际领先产线中实现规模量产。

此外，公司MOCVD设备销售约3.79亿元，同比下降约18.03%，LPCVD设备2024年实现首台销售，全年设备销售约1.56亿元。

对于全年净利润的下滑，中微公司解释称，是由于市场对中微开发多种新设备的需求急剧增长，2024年加大研发力度，以尽快补齐国产高端半导体设备短板。2024年公司研发投入约24.52亿元，较上年增长11.90亿元，同比增长约94.31%，2024年研发投入占公司营业收入比例约为27.05%，远高于科创板均值。2024年研发费用14.18亿元，较上年增长约6.01亿元，同比增长约73.59%。

此外，2023年公司出售了持有的部分拓荆科技股份有限公司股票，产生税后净收益约4.06亿元，而2024年公司并无该项股权处置收益。

不过，公司扣非净利润保持增长，这是由于在营收增长的基础上，公司2024年毛利较上年增长约9.78亿元。

重研发缩短设备开发周期

前述提到，中微公司2024年在研发投入上大幅增长，在此基础上，公司设备开发周期大幅缩短。

尹志尧介绍，“目前公司在研项目涵盖六大类，超过二十款新设备的开发。公司研发新产品的速度显著加快，过去通常需要三到五年开发一款新设备，现在只需两年或更短时间就能开发出有竞争力的新设备，并顺利进入市场。”

据悉，中微公司正在开发更有竞争力的用于集成电路微观制造的新一代的CCP高能等离子体刻蚀设备、新一代的ICP低能等离子体刻蚀设备，晶圆边缘刻蚀设备，低压热化学沉积LPCVD及原子水平沉积ALD等薄膜设备、硅和锗硅外延EPI设备，新一代等离子体源的PECVD设备和电子束量检测等设备。

在泛半导体领域，中微的MOCVD（金属有机化学气相沉积）设备持续领跑全球市场，占据氮化镓基LED照明设备80%以上份额，并加速拓展碳化硅功率器件、Micro-LED等新兴领域。

此外，中微公司在2023年底决定开发大平板设备，以尽快填补国内在这个领域的空白。其中包括新型显示技术领域所需的核心薄膜及等离子体刻蚀等设备，并取得了比计划超前很多的进展。

值得一提的是，中微公司积极谨慎布局产业链上下游部分重点领域。据其披露，公司从上市以来投资了30多家产业链上下游企业，投资20多亿元，实现了浮盈50多亿元的良好经济效益和战略协同效果。其中，公司参股投资的8家公司已经完成A股挂牌上市。

当前，全球半导体产业正迎来新一轮发展机遇。人工智能、云计算、自动驾驶等技术的普及，推动芯片制造向更先进制程演进，对刻蚀、薄膜沉积等核心设备的需求持续攀升。据SEMI预测，2025年全球半导体设备市场规模将达1,275亿美元（+16%），中国大陆仍是最大市场，包括中微公司在内的国产半导体设备将迎来更多机遇。