北京
金融界2025年4月17日消息，国家知识产权局信息显示，广东凯迪微智能装备有限公司取得一项名为“一种薄片晶圆清洗盘”的专利，授权公告号 CN 222762953 U，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本实用新型公开了晶圆湿法生产设备领域的一种薄片晶圆清洗盘，由吸盘主体和密封盖组成，密封盖中部开孔且贴合于吸盘主体底部固定，吸盘主体底部设有凸起插入密封盖开孔处的连接部，吸盘主体设有与连接部同轴设置的中心气道，且该中心气道顶部开口处装配有密封的吸盘芯盖；吸盘主体贴合密封盖一面还设有与中心气道同轴设置的环形气槽，环形气槽内设有至少两个与中心气道导通的第一导气通道，吸盘主体表面设有多个环形分布且与环形气槽导通的第二导气通道，吸盘主体表面还设有至少两个环形分布于第二导气通道外侧的M4机米和挡边销。不仅提高了晶圆在清洗过程中的安全性，减少晶圆报废的概率，对于提高生产效率和降低成本具有重要作用。
天眼查资料显示，广东凯迪微智能装备有限公司，成立于2018年，位于东莞市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1108万人民币。通过天眼查大数据分析，广东凯迪微智能装备有限公司参与招投标项目5次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息83条，此外企业还拥有行政许可10个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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