北京
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金融界2025年4月4日消息，国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“用于半导体处理设备的预防性维护的方法和系统”的专利，公开号CN 119747324 A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，可用于半导体处理设备领域的方法和相关系统。本文公开的方法可以包括用从涡流管的热端发出的热气流清洁前体管线。
本文源自：金融界
作者：情报员
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