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金融界2025年3月26日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“基板处理设备和处理溶液供应单元”的专利，公开号CN 119673801 A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，公开了一种用于处理基板的设备， 所述设备包括：腔室，其具有用于处理基板的处理空间；支撑单元，其设置在所述处理空间中并用于支撑所述基板；液体排放单元，其用于在处理所述基板时向所述基板供应处理溶液并处理所述基板；以及液体供应单元，其用于向所述液体排放单元供应所述处理溶液，其中所述液体供应单元包括：储罐，其用于储存所述处理溶液；液体供应管线，其用于将所述储罐中的所述处理溶液供应到所述液体排放单元；排气管线，其连接到所述储罐，以排放所述储罐中的含水气体；加热器，其用于加热所述储罐中的所述处理溶液或从所述储罐循环的所述处理溶液；以及冷凝物排放管线，其连接到所述排气管线并用于排放由所述含水气体产生的冷凝物。
本文源自：金融界
作者：情报员
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