北京
金融界2025年3月25日消息，国家知识产权局信息显示，新毅东（北京）科技有限公司申请一项名为“一种照明系统及光刻机”的专利，公开号CN 119668045 A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本申请公
开了一种照明系统及
光刻机，涉及半导体设
备技术领域，本申请的
照明系统，包括光源模
块以及依次设置于光
源模块出光侧的匀光
模块、狭缝板和中继模
块，光源模块出射的光
线依次经过匀光模块、
狭缝板上的狭缝和中
继模块后照射至目标面上，其中，匀光模块包括沿光路依次间
隔设置的第一匀光棒、散射元件和第二匀光棒，光源模块出射
的光线依次经过第一匀光棒的匀光、散射元件的散射以及第二
匀光棒的匀光，中继模块用于增大光线的照明视场。本申请提
供的照明系统及光刻机，能够在缩短照明系统体积的基础上，
提高照明系统照明的均匀性。
天眼查资料显示，新毅东（北京）科技有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本3589.4516万人民币，实缴资本870.5502万人民币。通过天眼查大数据分析，新毅东（北京）科技有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目57次，财产线索方面有商标信息28条，专利信息93条，此外企业还拥有行政许可7个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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