金融界2025年2月22日消息,国家知识产权局信息显示,宁波润华全芯微电子设备有限公司申请一项名为“种用于加热盘的快速散热风圈”的专利,公开号 CN 119495608 A,申请日期为2024年11月。
专利摘要显示,本发明提供一种用于加热盘的快速散热风圈,加热盘快速散热风圈套设于加热盘外部,加热盘快速散热风圈包括:内圈和外圈,内圈包括第一挡环和第二挡环,第一挡环上设有进气口和出气口,第二挡环与第一挡环固定连接,第二挡环设置于进气口和出气口之间,将第一挡环分隔为进气侧和出气侧;外圈套设于内圈外部,外圈包括外壁和第三挡环,第三挡环固定连接于外壁靠近所述加热盘的一侧,第三挡环和第二挡环相互配合形成出风通道,出风通道与进气口连通。本发明提升了加热盘上下面附近的气体流量,提高了热盘冷却降温速率,提高了晶圆生产效率,且该散热风圈不占用额外的垂直空间,可实现上下盘面双向散热,散热效率和经济效应更高。
天眼查资料显示,宁波润华全芯微电子设备有限公司,成立于2016年,位于宁波市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本3584.0571万人民币,实缴资本3584.0571万人民币。通过天眼查大数据分析,宁波润华全芯微电子设备有限公司参与招投标项目136次,知识产权方面有商标信息10条,专利信息159条,此外企业还拥有行政许可19个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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