滨松的铟镓砷(InGaAs)红外相机工作波段从400nm到1700nm,相当于可以覆盖可见光到近红外波段。滨松红外相机具有高灵敏度、高分辨、低坏点率及低噪声等特点。非常适合用于半导体缺陷检测、光通信、光致发光等应用。
对于一些应用来说,我们需要进一步分析光斑强度的二维及三维分布,光斑尺寸,圆度等参数。我们基于滨松的铟镓砷红外相机开发出了多功能光斑分析仪软件,可测量光斑直径为 50μm,另外可定制光斑放大装置,可实现最小5um的光斑检测,可以实现 400nm-1700nm 波段内的激光光斑测量及光束指向在线监测,包括光斑尺寸, 圆度,功率及指向偏移,并对光强能量场进行二维和三维显示。
相机参数
软件功能
实测效果图
1550nm激光器的光斑实测结果如下:
1310nm激光器的光斑实测结果如下:
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