金融界2025年1月23日消息,国家知识产权局信息显示,长飞石英技术(武汉)有限公司申请一项名为“一种方形石英基板制作方法”的专利,公开号 CN 119328916 A,申请日期为2024年11月。
专利摘要显示,本发明提供了一种方形石英基板制作方法,包括如下步骤:将待加工的方形石英基板毛坯采用切割机切割成坯片,再分别对每一片进行仿形轮廓磨削,并按照厚度去除量及粗糙度要求对方形石英基板工件的两个大面进行双面粗磨和精磨;将已完成双面精磨的方形石英基板工件放在侧边抛光机载台上,同时对方形石英基板工件的四个侧面进行抛光;将已完成侧面抛光的方形石英基板工件装载在双面抛光机抛光治具中,分别对方形石英基板工件的两个大面进行双面粗抛、中抛、精抛,保证各个工序的厚度去除量、粗糙度及表面质量要求;将已完成抛光的方形石英基板工件放在超声清洗机内清洗并进行检测,检测合格后洁净包装。本发明主要采用单线切割、多线切割、CNC仿形、双面研磨、侧边抛光、双面抛光、超声波清洗等工序组合完成,适合高平面度、低粗糙度及低缺陷石英玻璃基板的制作,通过批次性加工、抽检及全检,建立其完整制作工艺流程及规范,提高产品加工效率及良率,尤其满足用于半导体关联电子材料中使用的光掩膜版石英基板,属于超精密加工技术领域。
天眼查资料显示,长飞石英技术(武汉)有限公司,成立于2022年,位于武汉市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本27442.5958万人民币。通过天眼查大数据分析,长飞石英技术(武汉)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目24次,知识产权方面有商标信息7条,专利信息21条,此外企业还拥有行政许可11个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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