北京
金融界2025年1月14日消息，国家知识产权局信息显示，中润新能源（徐州）有限公司申请一项名为“一种变磷烷流量多层原位掺杂非晶硅层的PE-poly工艺方法”的专利，公开号CN 119287347 A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本发明公开了一种变磷烷流量多层原位掺杂非晶硅层的PE‑poly工艺方法，属于光伏太阳能电池制备技术领域，包括以下步骤：S1、N型硅衬底预处理；S2、N型硅衬底表面生长隧穿氧化层：通过PECVD技术，利用笑气在N型硅衬底背面反应生成隧穿氧化层；S3、逐级调控磷烷流量在隧穿氧化层上生长磷掺杂非晶硅薄膜：分四阶段分别通入流量递增的磷烷以及等流量的硅烷和氢气，再施以相应的压力、射频电源频率等条件，沉积生成磷掺杂非晶硅薄膜；S4、后处理工艺。与现有技术相比，本发明通过多级调控磷烷流量实现不增加磷烷耗量而增大磷掺杂浓度，规避了直接增加磷烷耗量提升磷掺杂浓度的局限性，提升了多晶硅场钝化效果。
天眼查资料显示，中润新能源（徐州）有限公司，成立于2022年，位于徐州市，是一家以从事电力、热力生产和供应业为主的企业。企业注册资本20000万人民币，实缴资本20000万人民币。通过天眼查大数据分析，中润新能源（徐州）有限公司参与招投标项目27次，专利信息73条，此外企业还拥有行政许可9个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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