金融界2024年12月23日消息,国家知识产权局信息显示,广东先导微电子科技有限公司取得一项名为“一种砷化镓多晶合成装置”的专利,授权公告号 CN 222182553 U,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本实用新型涉及砷化镓合成技术领域,公开了一种砷化镓多晶合成装置;包括反应件、密封件、第一舟体、第二舟体、第三舟体和真空设备,所述反应件包括第一反应部,所述第一反应部开设有第一腔体;所述合成炉开设有加热腔,所述第一反应部设于所述加热腔内;所述第一舟体设于所述第一腔体内;所述第二舟体设于所述第一腔体内并位于所述第一舟体的上方,所述第二舟体用于承载稼料,所述第二舟体设有多个过滤孔;本实用新型通过设置具有所述过滤孔的第二舟体并将所述第二舟体设置在所述第一舟体的上方,能够对稼料中的氧化镓进行过滤,以减少稼料中的氧化镓,从而有利于提高砷化镓多晶的合成质量。
本文源自:金融界
作者:情报员
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