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金融界2024年12月20日消息，国家知识产权局信息显示，苏州佑伦真空设备科技有限公司申请一项名为“一种应用于真空溅射镀膜的清洁辅助装置”的专利，公开号CN 119144937 A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本发明提出一种应用于真空溅射镀膜的清洁辅助装置，包括工艺镀膜腔体，工艺镀膜腔体的一侧设有过渡腔体，工艺镀膜腔体的相邻过渡腔体一侧还设有晶圆或者遮板进出口，工艺镀膜腔体的底部设有工作气体输入通道，过渡腔体与工艺镀膜腔体连通，工艺镀膜腔体内设有旋转遮蔽机构和顶升机构，当需要进行工艺镀膜腔体的清洁时，旋转机构将遮板旋转至工作气体输入通道上部，用于遮挡工作气体输入通道，防止在清洗的过程中，靶材或者气体材质落入工作气体输入通道，当进行工艺镀膜时，旋转机构将遮板旋转至过渡腔体，以防止遮板影响工作气体的输入，造成溅射镀膜不均匀，当需要更换遮板通过升降装置的顶升爪将遮板顶起后输出晶圆或者遮板进出口自动更换。
本文源自：金融界
作者：情报员
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