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金融界2024年12月17日消息，国家知识产权局信息显示，上海旻艾半导体有限公司取得一项名为“一种晶圆生产用探针台腔体自动清洁装置”的专利，授权公告号CN 222153335 U，申请日期为2024年1月。
专利摘要显示，本实用新型公开一种晶圆生产用探针台腔体自动清洁装置，包括探针台本体，该探针台本体内部设置有用于测试晶圆的腔体，所述探针台本体的前侧端开设有进风口，该进风口处设置有可拆卸的进风滤网，而探针台本体后侧端对应设置有FFU风机机组。本装置中从外部进来的空气中的颗粒物被进风滤网所阻挡，外部空气中的颗粒物不会进入到腔体内；而腔体内各部件自身产生的颗粒物，在FFU风机机组的作用下被吸到中间滤网处，不会漂浮在腔体内，也不会影响晶圆测试，并且在中间滤网和出风滤网的作用下，在后侧位置处，颗粒物也不会进入到腔体内，且FFU风机机组整体可拆卸，拆卸后将内部颗粒物清扫出来即可，整体结构合理，保持腔体内部清洁度。
本文源自：金融界
作者：情报员
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