北京
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金融界 2024 年 12 月 9 日消息，国家知识产权局信息显示，苏州锐光科技有限公司申请一项名为“MEMS 垂直式气体流量传感器芯片及其制造方法”的专利，公开号 CN 119085768 A，申请日期为 2023 年 12 月。
专利摘要显示，本申请涉及 MEMS 半导体器件技术领域，本申请公开了 MEMS 垂直式气体流量传感器芯片及其制造方法，包括硅衬底、阻热支撑层、金属温度敏感层、TSV 通孔电连接层，所述阻热支撑层位于硅衬底和金属温度敏感层之间。与相关技术相比，本技术中气体通过芯片中间的贯穿部分流出，在气体流动的过程中，气体完全贯穿芯片的金属温度敏感电阻，能够使得芯片测量的敏感度和精度提高。
本文源自：金融界
作者：情报员
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