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金融界2024年11月29日消息，国家知识产权局信息显示，捷造科技（宁波）有限公司取得一项名为“PECVD加热腔室”的专利，授权公告号CN 222064659 U，申请日期为2024年3月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种PECVD加热腔室，包括：真空腔体，在所述真空腔体内设置装载组件和加热组件，所述装载组件用于装载待加热件，加热组件至少部分设置在真空腔体内，所述加热组件包括上、下加热板与所述装载组件的上、下部位对应设置，还包括位于真空腔体上、下面四个角的第一支撑块、第二支撑块、第三支撑块和第四支撑块，本实用新型的优点是：使得装载组件可以实现“肉夹馍”形式，实现更快的加热；旋转功能，能够调整上下加热板的热辐射角度，从而增加其热辐射的范围和热辐射的均匀性，实现了对硅片的动态加热和均匀加热。
本文源自：金融界
作者：情报员
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