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金融界2024年10月28日消息，国家知识产权局信息显示，上海恢卓光学科技有限公司申请一项名为“一种光学变焦菲索干涉仪”的专利，公开号CN 118816703 A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本发明涉及一种光学变焦菲索干涉仪,包括：光源部，发出具有视场角的光线；第一光路方向，第一光路方向上依次设置有PBS分光镜、四分之一波片、前聚焦镜组、标准镜和被测物，所述前聚焦镜组具有变焦功能，光线经过所述四分之一波片后穿过前聚焦镜组，并准直照射到标准镜的参考面上或穿过标准镜照射到被测物上；第二光路方向，所述第二光路方向为第一光路方向相反方向。本发明通过变焦光学系统，改变干涉仪光学扩束系统的扩束比，局部放大干涉条纹，增加干涉条纹测量分辨率，再通过移动被测物，拼接出被测的整体面形，有效的解决了大翘曲光滑平面器件的面形测量问题。
本文源自：金融界
作者：情报员
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