给美国芯片产业立下汗马功劳的美籍华人，在被美国重用之前，选择回到中国，为国效力

散英魂寄千万雄鹰翱翔神州，

尽智魄载十亿慧芯呼唤华夏。

——《国务院给予江上舟同志挽联》

01

前沿导读

盛美半导体（ACM）于1998年在美国硅谷成立，是一家整合了研发、设计、制造、销售于一体，为国际半导体产业链提供高端制造设备的企业。

其公司的创始人是美籍华人王晖，清华大学毕业，随后进入了日本大阪深造半导体工艺技术。

在拿到半导体设备及工艺的工学硕士及博士之后，来到了美国，在硅谷从事半导体设备及工艺研发工作。

1998年在美创立了盛美半导体，由于机缘巧合，王晖在2005年回到了中国上海，创立上海盛美半导体公司，给中国的半导体产业链来了一剂强心针。

02

在美发展

王晖在清华大学主修的是精密仪器专业，因为成绩优秀，获得了去往日本留学深造的机会。他去到了日本的大阪大学，主修专业是半导体精密加工和半导体设备。

这个专业对于当时的王晖来说，很是陌生，毕竟中国在当年还没有针对于半导体领域开设相关专业。他用了5年时间，在大阪大学成功取得了工学硕士和博士学位。

学成之后，王晖来到了美国，在辛辛那提大学有过一年多的博士后研究，随后就来到了美国硅谷，加入了Quester Technology公司，开始在CVD设备领域进行技术发展。在Quester Technology工作的这几年当中，王晖也取得了多项技术专利。

1998年，铜材料在半导体领域发展势头迅猛。王晖也意识到了半导体行业将在不久之后迎来新的革命时期，于是他创办了盛美半导体，在抛光、清洗、电镀等技术领域开始发展。

并且由盛美半导体开发的铜抛光技术，在后来引起了英特尔等国际巨头的重视。

也正因为如此，盛美半导体的设备技术进一步被应用到了英特尔公司的生产线上面。几年之内，盛美半导体成为了国际半导体领域竞争力极强的企业之一。

03

回国效力

盛美半导体在部分技术上面走在行业前沿，导致其他供应链跟不上节奏，无法与之协同起来推向市场。摆在王晖面前的有两条路，一条是找到其他资本进行注资，另一条是被其他企业部门收购。

就在盛美半导体将要被美国企业收购之前，上海市的副秘书长江上舟找到他，并且成功说服了他回国发展。

2005年，王晖来到了中国上海，成立了上海盛美半导体公司。江上舟将盛美半导体列入上海市科教兴市的重点扶持企业。

在创办企业的时候，王晖与上海市政府共同出资，给盛美半导体的后续发展奠定了政策和经济支持。

盛美半导体落户上海市之后，王晖将国内空白的单片清洗设备作为企业项目的技术研发方向。

在后续的几年当中，盛美半导体先后推出了SAPS、TEBO、Tahoe等多个清洗技术设备，并且这些设备在进行商用的过程中也很顺利。

2009年，SAPS清洗设备在韩国存储器企业海力士产品当中进行测试。在海力士50nm制程工艺的产品打造当中，由盛美半导体制造的清洗设备有效地提升了制造良品率，盛美半导体迎来了海力士的大批量产品订单。

随着产品的名气越来越大，国际上面很多企业都来采购盛美半导体制造的设备。

中国的长江存储、中芯国际、华虹集团，都纷纷采用盛美的制造设备。

盛美半导体用全球最先进的铜互联制程技术和制造设备，填补了中国在半导体设备上面的空缺。

除提到的清洗设备之外，盛美半导体还有封装工艺层面的电镀、抛光、涂胶、显影等多项技术设备。

在当时那个时期，中国的上海市拥有半导体产业链当中的三个主体设备：等离子刻蚀机、电化学抛光、检测。并且上海市也是世界上唯一一个在同一个地区拥有三个主体制造设备的城市，美国在当初都没有达到这个建设水平。

主导发展设备技术的这些企业领军人，绝大部分也都是从国外回来的美籍华人。

不管是中芯国际的张汝京、中微半导体的尹志尧、还是盛美半导体的王晖，他们都是在江上舟的影响下选择回国，为国效力。一直到现在，他们还在肩负着为中国半导体行业开疆扩土的责任。

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