突破卡脖子技术、填补探月工程关键技术空白……上海首次举办检验检测行业创新大赛推动行业创新发展

本报讯（记者 杨硕）5月8日，由上海市市场监督管理局主办，闵行区市场监督管理局、上海建科集团股份有限公司、上海市检验检测认证协会共同承办的首届上海市检验检测行业创新大赛决赛在上海建科集团莘庄生态园区圆满落下帷幕。

检验检测作为国家质量基础设施的重要组成部分，检验检测活动贯穿于研发设计、中试验证、生产制造、售后服务等产业链供应链全过程，已成为链接科技创新与产业创新的关键节点，在推动产业协同、促进技术进步、提高运行效率、降低经营成本、促进产业链供应链畅通高效等方面发挥了不可或缺的作用。

检验检测行业作为国家和本市重点发展的高技术服务业和生产性服务业，创新已成为推动行业高质量发展的主引擎。近年来，随着行业规模持续扩大，上海检验检测行业自主创新能力也不断提升，截至2023年底，上海1340家检验检测机构中有326家通过高新技术企业认定，实验设备原值超300亿元，研发投入逐年递增，拥有专利超万件，彰显了创新引领和高质量发展的有机统一。

记者在比赛现场中获悉，本次创新大赛共有来自第三方检验检测机构、高校科研院所、企业实验室、仪器设备研发制造企业、实验室装备企业等168家单位踊跃参与，报送创新作品共计216项。作品内容覆盖集成电路、生物医药、人工智能三大先导产业和电子信息、汽车、高端装备等重点产业，涌现出一批首创性、突破性、引领性的检验检测新技术、新方法、新装备，并围绕加快上海“五个中心”建设、服务国家重大发展战略，集中展示了上海检验检测行业创新发展成果，为本次大赛主题“向新而行，创质未来”做出了精彩注脚。历时5个月，经过3轮紧张火热的评选，最终产生一等奖作品1项、二等奖作品3项、三等奖作品6项和10项优胜奖作品。

来自上海市计量测试技术研究院的参赛选手李春华向记者介绍，集成电路是在晶圆上采用先进工艺制造而成，整个制造过程在纳米尺寸间完成，晶圆盒是确保晶圆在运输和储存环节免受环境污染的重要装置。“微乎其微”的一点污染就会导致芯片良品率下降。所以控制晶圆盒内污染的迁移至关重要。上海市计量测试技术研究院根据晶圆盒生产工艺流程，明确了杂质的4种来源以及24种关键杂质。研发了全自动晶圆盒杂质提取装置和编写了提取的标准作业程序，开发了电感耦合等离子体技术检测阳离子杂质和在线浓缩离子色谱技术检测阴离子杂质的方法，检出能力达到0.1µg/㎡和10.0µg/㎡。结合国际和国内产业的技术要求，在100+批次的数据基础上确立了满足12英寸晶圆盒的限度指标。该研究突破了晶圆盒检测技术难题，为国产晶圆盒生产工艺优化指明了方向，助力国产芯片自主可控。

记者在比赛现场了解到，随着我国探月工程的推进，未来我们的月球探测器将到达极限温度在-225℃～130℃之间的月球极区。探测器的移动部件在极区的极端低温下更容易出现机械卡死，导致探测器彻底报废。经过对国内外试验能力的全面调研，未发现能满足月球极区极端低温环境的检测系统，研制月面极区试验检测系统，成为了唯一的途径。上海航天设备制造总厂有限公司迅速成立研发团队，仅用半年时间，研制出国内首套具备高真空、深冷、高温连续交变功能且搭载双驱动双加载高精度运动测试装置的月面极区环境模拟试验检测系统。该系统填补了我国探月工程月面环模检测领域的空白。目前，该系统已成功应用于探测器移动装置和月面环模检测，为我国深空探测环模检测任务的顺利开展提供了有力保障。