多家A股厂商订单量大增，国产半导体设备进入成长期

2022年，尽管全球半导体产业局势复杂，但中国本土半导体似乎依然保持着朝阳势头，发展火热。尤其是半导体设备厂商，在国产化浪潮进一步驱动下，去年大部分国产设备厂商在营收及订单方面表现出了强劲的增长态势。

至纯科技/中微公司/盛美上海等订单量稳步增长

2023年以来，至纯科技、中微公司、以及盛美上海均披露了其2022年年度报告。数据显示，上述厂商的营收及利润不仅在2022年实现了大幅增长，同时其销售订单量亦持续增加。

01、至纯科技：新增订单42.19亿元，同比增长30.62%

2022年度，至纯科技实现营业收入30.5亿元，同比增长46.32%；实现归母净利润2.82亿元，同比增长0.24%；扣非后归母净利润2.85亿元，同比大增76.03%。2022年度，公司新增订单42.19亿元，同比增长30.62%，其中半导体制程设备新增订单18.00亿元，同比增长60.71%。

据介绍，2022年，至纯科技研发拓展炉管和涂胶显影设备。其8英寸炉管设备已有数台订单，12英寸炉管设备正在研发制造，即将进入客户验证阶段；8英寸涂胶显影设备已交付客户验证，12英寸涂胶显影设备尚处在专利检索及技术评估阶段。此外，至纯科技首台单晶槽式制绒清洗设备已于2022年下半年下线，并且拿到了近60台制绒设备订单，目前在陆续交付中。

据悉，至纯科技的核心客户均为国内知名企业，如上海华力、中芯国际、长江存储、合肥长鑫、士兰微、西安三星、无锡海力士、北京燕东、TI、华润微等。至纯科技预计，2023年，公司预计年度新增订单区间在52-57亿元，制程设备订单区间为20-25亿元。

02、中微公司：等离子体刻蚀设备市占率提高，已在5纳米芯片生产线等批量销售

2022年，中微公司实现营收47.4亿元，同比增长52.5%；实现归母净利润11.7亿元，同比增长15.66%；扣非后归母净利润9.19亿元，同比大增183.44%。2022年，中微公司新签订单金额约63.2亿元，较 2021 年增加约21.9亿元，同比增加约53%，订单销售比达到1.33。

财报显示，近年来中微公司等离子体刻蚀设备市场占有率不断提高，在国际最先进的5纳米芯片生产线及下一代更先进的生产线上均实现了多次批量销售。数据显示，2022年刻蚀设备收入为31.47亿元，较2021年增长约57.07%，毛利率达到47.00%。

至2022年底，中微公司累计已有3311个等离子体刻蚀和化学薄膜的反应台，在国内、亚洲和欧洲的106条生产线全面实现了量产和大量重复性销售。此外，盛美上海也启动了应用于碳化硅功率器件外延生产设备的开发，2023年将交付样机至客户端开展生产验证。

目前，中微公司产业化建设项目正在顺利推进中，据介绍，其南昌生产和研发基地已基本建成完工，部分生产洁净室于 2022年7月投入试生产；位于上海临港的生产和研发基地主体建设已完成，2023年将部分投入使用；此外海临港的研发中心暨总部大楼也在顺利建设。

03、盛美上海：半导体设备需求不断增加，销售订单持续增长

财报显示，2022年度盛美上海实现营业收入28.73亿元，同比增长77.25%；实现归母净利润6.68亿元，同比增长151.08%；扣非后归母净利润6.7亿元，同比大增254.27%。

据官方介绍，盛美上海在2022年获得了大量批量订单，并成功将立式炉管ALD设备推向国内的两家关键客户；首台具有自主知识产权的涂胶显影Track设备Ultra LITHTM成功出机，顺利向国内客户交付前道ArF工艺涂胶显影Track设备，并将于2023年推出i-line型号设备，已开始着手研发KrF设备。

值得一提的是，2023年以来，盛美上海也接连获得了多个订单。今年2月底，盛美上海宣布获得来自欧洲一家全球性半导体制造商的首个12腔单片SAPS兆声波清洗设备订单。预计将于2023年第四季度交付至该客户的欧洲工厂；3月底，盛美上海首次获得Ultra C SiC碳化硅衬底清洗设备的采购订单。该订单来自中国领先的碳化硅衬底制造商，预计将在2023年第三季度末发货。

拓荆科技/华海清科/华峰测控/芯源微等营收净利双双大涨

除上述厂商已披露年报外，拓荆科技、华海清科、华峰测控、以及芯源微等设备厂商各自披露的业绩预告亦显示，2022年，其营收和净利润也实现了大幅度的增长。

• 拓荆科技实现营业收入17.06亿元，同比增长125.02%；归属于母公司所有者的净利润3.69亿元，同比增长438.09%；扣非后归母净利润1.78亿元，同比增加2.6亿元；

• 华海清科实现营业总收入16.82亿元，同比增长109.03%；实现利润总额5.71亿元，同比增长191.38%；实现归属于母公司所有者的净利润5.15亿元，同比增长159.97%；实现扣非后归母净利润3.74亿元，同比增长228.15%；

• 芯源微实现营业总收入13.85亿元，同比增长67.12%；实现利润总额2.19亿元，同比增长188.30%；实现归属于母公司所有者的净利润1.97亿元，同比增长155.31%；实现扣非后归母净利润1.38亿元，同比增长116.12%。

• 华峰测控实现营业总收入10.71亿元，同比增长67.12%；实现归属于母公司所有者的净利润5.25亿元，同比增长19.67%；实现扣非后归母净利润5.06亿亿元，同比增长16.38%。

对于营收增加的原因，各大厂商在公告中几乎都提到，主要系公司订单增加。其中，拓荆科技表示，本年销售订单大幅增加，营业收入维持高增长趋势；华海清科亦指出，新增订单稳步增长，在手订单不断增加，为公司业绩的快速增长提供了有力保障；芯源微亦表示，新签订单较去年同期大幅增长，收入规模持续增长。

此外，华峰测控亦表示，尽管公司持续收到疫情的影响，叠加半导体市场景气度的不断低迷，给公司的业绩增长带来了巨大的挑战。在此期间，公司坚持既定的发展策略，不断优化产品结构，同时加强新产品研发和市场开拓，不断提高产品的市场占有率，保证了业务的持续稳定增长。