集微网消息,5月11日,中国科学院物理研究所发布一项采购信息。中国科学院物理研究所拟采购1套激光/电子束脉冲沉积系统,预算金额263万元。
设备用途:脉冲激光沉积技术是属于物理气相沉积类的一种薄膜制备技术,该仪器在真空条件下利用高功率脉冲激光辐射轰击固体靶材使其挥发,转移到已加热的基片表面沉积成膜,主要用于制备外延生长的金属氧化物薄膜及多层异质结构。
交货期方面,进口产品:合同生效收到预付款后10个月内;国产产品:合同生效后10个月内。(校对/小北)
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