等离子清洗技术的工艺原理是什么？

你知道等离子清洗机的分类都有哪些吗？？

首先，我们来了解一下，等离子清洗机的装置都有哪些，最为基础的等离子清洗装置包括四个主要部件：激发功率、真空泵、真空室、反应气源。激励源是为气体放电提供能量的电源，可采用不同的频率；真空泵的主要作用是抽除副产物，包括旋片式机械泵或增压泵；以及在真空腔中带放电电离的电极。反应性气体转化为等离子体，反应气体通常是由氩、氧、氢、氮、四氯化碳等单一气体，或两种气体混合。

等离子清洗的效用主要取决于多种因素，包括化学性质的选择，工艺参数，功率，时间，部件放置和电极结构。各种清洗用途所需的设备结构不同，电极接法、反应气体种类不同，其工艺原理也有很大差异，有的是物理反应，一些为化学反应，另一类是物理化学作用，而反应的有效性则依赖于等离子体气源、等离子系统的组合和等离子加工操作参数。

等离子体腐蚀、等离子去胶在半导体制程中较早采用等离子去胶，用常压辉光冷等离子体产生的活性物质来清洁有机粘污和光刻胶，是取代湿化学清洗的一种绿色方法。

1、化学为主清洗，在清洗过程中，表面反应主要是化学反应等离子体清洗，习惯上称为等离子清洗，很多气体的等离子态都能产生高活性颗粒。由化学式可知，典型的PE工艺为氧或氢等离子体工艺，经过与氧等离子的化学反应，可将非挥发性有机物转化为易挥发的CO2和水汽。除去污垢，使表面洁净；

利用离子氢气可以通过化学反应除去金属表面的氧化层，清洁金属表面。由反应性气体离子化产生的高活性反应颗粒，在一定条件下，它与被清洗物的表面发生化学反应，其生成物为易挥发物质，可被抽除；而对于所清除气体的化学成分，选择适当的反应气体组分至关重要。PE具有表面改性、清洗速度快、选择性好、对有机污染等优点。缺陷在于可能会产生氧化物。

2、物理反应主要是清洗，其表面反应主要为物理反应的等离子体清洗，又称溅射腐蚀和离子铣IM。表面物理溅射是等离子体中的正离子在电场作用下获得能量以轰击表面，与表面分子片断和原子发生碰撞，使污染物质从表面除去，并且能使表面在分子级范围内改变微观形态粗糙化，从而改善表面的粘结性。

氩本身是一种惰性气体，等离子态的氩气不与表面反应，其过程为氩等离子通过物理溅射来净化表面。等离子体物理清洗不会产生氧化副反应，保持被清洗物化学纯净，腐蚀各向异性，缺点是对表面有很大的损伤和热效应，选择性差，速度低。

如今，弹力材料中含有很多油漆浸渍损伤的物质，这是用传统湿法无法单独去除的。软化剂和脱模剂能从弹性体主体向表面迁移，从而引起昂贵的质量问题。等离子体清洗，去除漆膜及障碍物，发现并清除有机硅污染物，改善各种塑料粘合性能，可以改善高分子材料的表面润湿性。