中国唯一的蚀刻机巨头，坐拥1016件专利，从65nm升级到5nm

文/谛林 审核/子扬 校正/知秋

本文首发于号，禁止抄袭

集成电路被称之为“现代工业粮食”，由于历史原因，我国正处于“粮食短缺”阶段。

数据显示，我国集成电路进口金额已经连续多年超过石油。2015年进口额超过2299亿元，2018年突破3000亿元。

严重依赖进口的局面，导致我国集成电路国产化率极低，在很多关键技术上常常被外国企业“卡脖子”。华为、中兴通讯被美国制裁，就是核心技术被“卡脖子”导致的问题。

为了摆脱被“卡脖子”的命运、结束处处受制于人的局面，近年来我国大力推动集成电路产业的发展。

在国家力量的支持下，目前不少集成电路企业已经成功突破海外的技术垄断，跻身全球行业前列，中微公司便是其中之一。

公开资料显示，中微半导体成立于2004年，至今为止已经发展16年之久。公司在半导体领域主攻蚀刻机的研发制造，是中国唯一的蚀刻机巨头。

相比光刻机，蚀刻机的知名度并不算高，但在晶圆生产制造过程中，蚀刻机的存在同样重要。

不同于光刻机，蚀刻机主要负责芯片的蚀刻阶段。即负责把光刻阶段复制到硅片上的电路结构进行微雕，雕刻出沟槽和接触点，为电路提供空间。

可想而知，蚀刻机对工艺和技术的要求之高，不输光刻机。而这也意味着，蚀刻机的研发门槛相对较高，企业在关键技术上的攻关难度较大。

即便如此，中微半导体依旧在身负重任的情况下，实现国产蚀刻机从无到有的突破。并且在相对较短的时间内，掌握了全球领先的技术。

在2015年之前，美国商务部已经对中国等离子体蚀刻机实施出口管制多年。但2015年，美方解除了这一出口管制，因为中微半导体自主研发的等离子体蚀刻机，已经得到一线客户的广泛应用。

美国的出口管制已经起不到任何作用。更值得注意的是，中微半导体还是世界上第一家成功研制出5nm精度蚀刻机的企业。

2020年，中微半导体的5nm蚀刻机已经被台积电应用于5nm生产线。全球前十大晶圆厂中，包括台积电在内的六家巨头，均为中微半导体的客户。

此外，从65nm升级到5nm精度的研发进程中，中微半导体逐渐掌握1016项专利。并且在四次由海外巨头提起的专利诉讼中全部胜诉。

得益于中微半导体对“卡脖子”的成功反制，目前蚀刻设备的国产化率已经达到20%。

对于中微半导体，你看法如何？

一键三连，科技不迷路