ASML中国总裁：对华出口EUV光刻机在等荷兰政府许可

（原标题：专访荷兰ASML中国总裁：对向中国出口光刻机保持开放态度）

澎湃新闻记者 韩声江

11月5日，在第三届中国国际进口博览会现场，荷兰光刻机巨头阿斯麦（ASML）全球副总裁、中国区总裁沈波在接受澎湃新闻（www.thepaper.cn）专访时表示，该公司对向中国出口集成电路光刻机持开放态度，对全球客户均一视同仁，在法律法规框架下，都将全力支持。

当前，中国已成为全球集成电路发展增速最快的地区之一。集成电路产业同时也是中国国民经济和社会发展的战略性、基础性和先导性产业，地位十分重要。

ASML公司是一家总部设在荷兰Veldhoven市的全球最大的集成电路设备制造商之一。该公司所生产的光刻机是生产集成电路过程必不可少的核心角色。目前该公司所产最尖端EUV（极紫外光）光刻机的加工极限已达到5纳米。美国苹果公司最新版iPhone12所搭载芯片即为在ASML支持下所产5纳米芯片。

澎湃新闻（www.thepaper.cn）：目前ASML在全球集成电路光刻机领域处于龙头地位，你认为这种地位是如何得来的？

沈波：现在大家可能更多关注的是结果，是我们目前的位置，但其实对我们来说，取得如今位置的过程更重要。ASML公司成立36年来，中间经历了非常多的曲折与坎坷，尤其是前十年很多次几乎都要死掉了，后来我们慢慢地在技术上摸索出了自己的一条道路之后，再经过非常多的努力，才一步步走到今天。

其中我觉得有两点原因尤为重要：第一，整个公司从研发到生产都处于一个非常开放的状态，我们合作伙伴非常多，与客户之间也互相非常透明，很多事情共同开发。ASML产品的85%的零部件是与供应链共同研发的。开放的生态系统能让企业在全世界找到最好的供应商，包括光学器件、机械装置等。

第二，是我们公司对于技术的执着。ASML是一个工程师文化非常浓厚的公司，大多数员工都是工程师，所以对技术有着“咬定青山不放松”的劲头，很多在外界看来不可能的事情，我们就有这个劲头一直很偏执地想去做成。

大家比较关注我们的最新技术，其实这背后有几十年的努力，一个产品我们可能20年前就提出想法，然后20年里投入200亿欧元的研发费用来做这个产品，在几年前行业里还有很多人怀疑我们这个技术最后能不能工业化应用，在这种情况下，可以说我们公司仍旧保持了一种初创精神。

澎湃新闻（www.thepaper.cn）：公司目前在中国的发展情况如何？

沈波：自30年前进入中国市场以来，ASML已提供了全面的技术和能力来满足中国客户的需求。目前我们在中国一共为客户提供了700多台装机。在遵守法律法规的同时，ASML全力支持客户和中国集成电路行业的发展。

为了更好地支持和满足客户的需求，ASML于2000年在天津正式成立了分公司。目前，ASML在中国设有12个办公室，11个仓储物流中心，2处开发中心，1个培训中心，拥有1000多名员工。

我们最早一台机器是1988年进入中国的，一路走过来，在每个阶段我们和中国集成电路业界都有着很好的合作。目前中国的700多台装机涵盖了ASML公司绝大部分类型产品。

这里我想说明一下，大家有的时候可能会有一个误解，是不是新的产品出来以后老的产品就过时了。其实现在回头去看，我们80、90年代的产品现在市场上仍然会有很多需求。因为现在集成电路的应用太多样化了，7纳米、5纳米、3纳米芯片的数量在整个芯片供应链中大概只占10%多，绝大部分芯片是需要“成熟制程”的。比如现在物联网、汽车电子、轨道交通、超高压输电等“新基建”的多个方面大量需要的还是“成熟制程”的芯片。

我有时候觉得“高端”、“低端”这个分类是不对的，不同产品的芯片对光刻机的需求是不同的。有的可能就需要做5纳米，有一些可能做40纳米、28纳米就够了，有些甚至需要做90、110纳米，不同产品类型的应用场景不同。

澎湃新闻（www.thepaper.cn）：下一步在中国市场的发展计划是什么？如何看待未来中国集成电路市场？

沈波：现在中国集成电路行业发展非常强劲，国家这几年对集成电路投入也非常大，作为ASML来讲就是跟着中国集成电路发展去更好地服务我们的客户。因为光刻机对客户芯片厂来说是最核心设备，我们首先要保证机器的正常运行，帮助客户把产品做好，我们会加强这方面的服务支持力度。

近几年我们在中国也建立了自己的培训中心，培养光刻行业人才。同时，在深圳和北京成了两家技术开发中心，做计算光刻、量测等开发。

我们本次在进博会带来重点推介的就是包含建模分析、量测的整体光刻解决方案，该方案包括先进控制能力的光刻机台，计算光刻和测量共三大部分，形成一个“铁三角”，通过建模、仿真、分析等技术，让光刻边缘定位精度不断提高，让成像达到最佳效果，ASML的整体光刻解决方案能够提高产品良率和生产效率，不但能够帮助行业客户提升芯片的价值，同时也可以降低生产成本, 实现更广泛的应用。

总的来说，公司在中国整个状态越来越好，未来服务会更多样化，对中国的投入也会越来越大。

澎湃新闻（www.thepaper.cn）：光刻机包括DUV（高紫外光）光刻机和EUV（极紫外光）光刻机等多种类型，下一步，ASML有没有向中国出口EUV光刻机的打算？

沈波：EUV光刻机我们还在等荷兰政府的出口许可证。ASML必须要在遵守法律法规的前提下进行光刻机出口。但我们对向中国出口光刻机是保持很开放态度的，我们对全球客户都一视同仁，只要是我们能够提供的技术和设备，我们都会全力支持。实际上，2020年第二、第三季度，公司发往中国大陆地区的光刻机台数超过了全球总台数的20%。

澎湃新闻（www.thepaper.cn）：你对近期中国集成电路行业发展怎么看？

沈波：集成电路行业历史其实也有60年了，现在整个信息化时代产生的数据和对计算能力的要求越来越高，整个集成电路产业也在社会发展和科技进步层面，变成了非常基础性的关键产业。

但是，芯片的制造有上千道工序，并不是只有光刻，从我们的角度来看，整体工艺水平到一定程度之后，对设备就有一些不同需求，但前边的技术储备时间是要非常长的，不是说今天觉得可以去做就能够做了，我觉得现在这个行业大家有点太过“积极”了，应当充分认识到行业中的风险和难度。

我们干这个行业，最大的一个体会就是，这真的是一个很难的行业，非常难，需要大家有耐心、有毅力、能坚持，真的往里持续投入，去把一个个问题解决，才能真正往前发展，要能够沉得下心来。

从芯片制造行业发展角度来讲，全球有一个不断整合的过程，中国最终也会融入到这个体系之中，所以有一些必须经历的过程可能还是要经历。

澎湃新闻（www.thepaper.cn）：你认为集成电路技术下一步的发展方向是什么？

沈波：随着5G、人工智能、大数据、物联网的发展，催化出超乎想象的各种应用，对芯片性能提出了更高要求。现在集成电路行业谈摩尔定律谈得比较多，即大概每两年芯片技术要往前走一步，实际上就导致每两年芯片的性能更强大了，成本更低了。比如，十年前买一个512M的U盘可能要几百块钱，现在几块钱就能买到，摩尔定律实际上是让芯片变便宜了，这都是技术发展带来的。

整个行业方面，我认为大家推进集成电路行业往前走有几个大的方向：一个是从物理的角度让芯片变得小一些，这方面我们ASML扮演一个角色；同时，行业还要把芯片的集成度提高，让芯片的功能不再单一，原来存储就是存储，逻辑就是逻辑，现在可能在同一个芯片可能可以集成多种功能；另外，就是芯片本身器件和材料的进步，比如硅基芯片看看是不是要做化钴芯片。这些方向结合起来，会让芯片做的越来越强大，越来越便宜。

澎湃新闻（www.thepaper.cn）：作为行业龙头害不害怕来自其他公司的竞争冲击你们目前的地位？

沈波：不害怕，我们一直强调，ASML是一个很开放的公司，竞争一定会推动技术的进步，所以我们是欢迎竞争的，只有竞争才能充分把大家所有聪明才智充分挖掘出来，推动行业发展。我觉得我们公司某种程度上有这个使命，帮助整个行业继续往前走，只要是有利于各行业向前发展的事我们都欢迎。

一个系统内部，大家分工协作最有效率，芯片技术越来越有竞争力，人们才能消费到价格更低、性能更好的电子产品。只有开放才能最有效地创新，关起门来效率是非常低的。