寻找日照新质生产力 | ①打破日韩技术垄断，填补国内空白的“全国唯一”是如何炼成的？

　　编者按：

　　今年全国两会期间，“新质生产力”首次写入政府工作报告，成为全国两会热词。即日起，大众网日照推出《寻找日照新质生产力》系列报道，深入重点企业生产一线，聚焦新技术、新产业、新模式下，日照新质生产力的蓬勃。

　　海报新闻记者 侯彦平 贾小亿 邹慧 日照报道

　　1/3根头发丝的厚度，8英寸的直径，一片轻薄的金属掩膜板上，汇聚了5万多个晶圆芯片。这张薄如蝉翼的OLED半导体显示用高精密金属掩膜板，是制造智能手机、平板电脑、笔记本电脑的核心支撑。

　　在此之前，这一显示屏的“刚需”材料，完全依赖日、韩进口。但是，近日在山东日照奥莱电子科技有限公司的万级洁净车间内，经过曝光、显影、蚀刻等工序，晶圆芯片用高精密金属掩膜板便可有序“出炉”。

　　山东日照奥莱电子科技有限公司坐落在日照市高新区，这家成立于2019年的年轻企业，成立之初便发力高端精密金属掩膜板领域，力求弥补国内在该领域的空白。

　　“我们想打破日韩的技术垄断，生产国内自己的高精密金属掩膜板。”山东奥莱电子科技有限公司董事长隋鑫介绍，掩膜板在国际上属于卖方市场，全球只有少数国家能生产，国内尚处于“缺芯少屏”的阶段。这位有着16年日本留学、工作经验的“80后”，因对金属掩膜板产业较为了解，怀揣着“科技兴国”的理想而回国创业。

　　OLED显示产业作为先进制造业，在国民经济中占有重要地位，对国民经济的发展起到巨大的带动作用。对隋鑫而言，归国创业，不仅是尝试，也是一种选择。目前我国在该制造领域已经有了技术突破，核心竞争力与日俱增，然而与之配套的上游各细分领域，多数还属于非常薄弱的环节，处于被“卡脖子”的状态。隋鑫说：“我想通过自己的努力改变这种状态。”

　　2018年，隋鑫选择回国创业，并成立山东奥莱电子科技有限公司。最初，身为青岛人的隋鑫更想在家乡开启创业生涯，但日照市的招引政策以及这座城市的活力让他决定在与家乡毗邻的日照创建公司，寻求创新突破。

　　“这里的区位优势，招商政策，城市环境都很吸引我。市里的系列政策支持，也让我们更有信心将资金投到产品研发的‘刀刃’上。”谈起“日照速度”，隋鑫赞不绝口。在日照市政府的资金支持、厂房代建等各项措施帮扶下，奥莱电子建设了国内首条产、学、研精密掩膜板综合生产线，完成四类OLED显示用高精密金属掩膜板研发和生产。

　　奥莱电子所生产的高精密金属掩膜板，相当于在只有头发丝1/3的薄料上进行上万个不足芝麻大小的开孔，每个孔的精度、维度、准确度都一丝不差。在技术追赶的同时，奥莱电子还不断向深研发，目前，其作为全国首家半导体MEMS芯片用高精密金属掩膜板（晶圆）生产企业，可生产6inch～12inch晶圆芯片用高精密金属掩膜板，填补了国内技术空白，完全可实现掩膜板进口替代。

　　现阶段，公司已实现金属掩膜板（OLED蒸镀用和晶圆制造用）的量产制造目标，分别建设Open Mask和晶圆级Mask生产线，并通过优化工艺流程研发相关新产品。公司一期CMM产线已经搭建完成并进入批量生产阶段，能为客户批量供应G2.5～G6全尺寸产品，同时具备F-Mask生产能力，并拓展OLED 薄膜封装（TFE）封装工艺用CVD Mask的业务。

　　各条产业线相继投产，金属掩膜板技术持续攻关，产品开发生产体系不断完善，企业稳步发展，订单纷至沓来。众多订单中，来自国外的意向订单让隋鑫倍感欣喜，“这意味着有更多人知道，在中国，在山东，就有能够生产高精密金属掩膜板的企业了。”

　　在自身取得跨越式发展的同时，奥莱电子也在不断释放集群效应，促使显示产业和半导体产业的内生循环式发展。作为日照市招商受益者的隋鑫，也成为日照招商工作的参与者。对隋鑫而言，吸引更多上下游的企业落户日照，不仅对奥莱电子的长期发展有益，也能够回馈为其提供发展土壤的城市。

　　企业与产业共振，产业与城市共荣。目前，围绕奥莱电子的生产车间，一个半导体集群在日照初具雏形，渐显蓬勃之态。日照市在新一代信息技术产业上的长远规划，也正随着回暖的春风，转化为遍地开花的发展硕果。

责编：侯彦平

审签：曲欣萍