吉林
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我始终觉得，中国半导体能有今天，有三个人绕不过去。张汝京、梁孟松、尹志尧三位博士前辈，刚好站在了芯片制造最核心的三道关口上：一个解决有没有工厂的问题，一个解决有工厂能不能造高端芯片的问题，一个解决造芯片有没有自己核心设备的问题。三人各守一关、彼此托举，硬生生给中国晶圆制造拼出了完整的家底。
张汝京开荒、梁孟松攻坚、尹志尧补刀
张汝京今年78岁了。这个年纪大多数人早就在家含饴弄孙，他还在忙。2026年4月，他牵头发起国内首个集成电路厂务学院，联合上海海洋大学共建，目的很明确，就是破解半导体厂务领域专业人才缺口这个痛点。他太清楚这个行业缺什么了，不是缺设备，是缺能让设备转起来的人。
二十多年前，张汝京在上海张江那片农田里建起了中芯国际。当时国内连一条像样的晶圆代工产线都没有，图纸、设备、人才、供应链，样样从零开始。他干的事，就是解决大陆有没有现代晶圆代工产业这个从零到一的问题。没有他迈出那一步，后面的故事根本无从谈起。但建厂只是第一步。有了厂，还得有能打的制程。这就轮到梁孟松了。
梁孟松在半导体圈是个传奇人物。他早年在台积电干了十几年，后来去了三星，再后来到了中芯国际担任联合首席执行官。他手里最值钱的东西，是对先进制程工艺的深刻理解，是那种只可意会不可言传的know-how。没有EUV光刻机，中芯国际怎么往前走？梁孟松给出的答案是：用DUV设备加工艺微调，可以把接近7nm级的芯片做出来。
根据媒体报道，在梁孟松主导下，中芯国际生产先进芯片的进步是明显性的。到2026年4月，中芯国际北京和上海的先进产线每月能出5万多片晶圆，良率稳定在80%以上。三星2026年二季度的代工市场份额是5.9%，中芯国际是5.4%，差距只剩0.5个百分点。放在几年前，这个数字没人敢想。光有厂、有制程还不够。设备是另一个命门。没有自己的刻蚀机，再好的工艺也落不了地。尹志尧解决的就是这个问题。
尹志尧今年82岁，是等离子体刻蚀技术的主要发明人之一，在硅谷被公认为最有成就的华人工程师之一。2004年他回国创办中微公司，2007年带领团队研制出国内首台介质刻蚀机。2018年，中微的5nm刻蚀技术实现量产销售。到2026年，中微公司已开发出54种高端半导体设备，包括26种等离子体刻蚀机和24种各类薄膜设备，刻蚀和薄膜设备的加工精度已经达到原子级水平。
今年上半年，中微公司营收66.91亿元，同比增长近35%，归母净利润28.25亿元，同比增长约300%。新一代90:1超高深宽比低温刻蚀设备已付运客户端开展验证，全面覆盖存储器刻蚀各类超高深宽比工艺需求。尹志尧自己说过一句话，模仿国外技术能造出同样的设备，但远远不够，也没有出路。他坚持的是自主创新。
张汝京和尹志尧有一次同台，张汝京说了句很朴素的话：没有人使用国货，怎么会进步。这句话说出了一个最简单的道理：国产设备不是造出来就完事了，得有人用，得在产线上跑起来，才能真正成长。三个人，三条线，拼起来是一张完整的图。张汝京把产业从无到有搭起来，梁孟松把技术从落后追到接近，尹志尧把设备从卡脖子变成自主可控。缺了任何一块，这张图都不完整。
张汝京博士曾说过，“中国半导体执着3nm、2nm是误区，成熟制程和利基市场才是更务实的突围方向”。事实就是如此。全球七成的芯片需求都集中在成熟工艺上，把这块基本盘吃透，本身就是战略级的胜利。
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