河北
分享至
来源：问董秘
投资者提问：
请公司介绍一下SACVD （臭氧 - TEOS）工艺的技术原理及应用场景？目前高端 3D 堆叠、高深宽比 TSV 几乎主流都用SACVD 臭氧 - TEOS工艺吗？
董秘回答(北方华创SZ002371)：
您好！亚常压化学气相沉积（SACVD）是一种在亚大气压环境下通过热化学反应进行薄膜沉积的工艺设备，应用于多种领域的介质薄膜沉积。感谢关注！
查看更多董秘问答>>
免责声明：本信息由新浪财经从公开信息中摘录，不构成任何投资建议；新浪财经不保证数据的准确性，内容仅供参考。
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
