俄罗斯光刻机，取得新突破

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俄罗斯正将其首台自主研发的350纳米光刻机投入批量生产，首台Progress STP-350计划于2026年12月交付莫斯科的Mapper公司。但更重要的故事是接下来的发展：俄罗斯已经在着手研发130纳米光刻技术，这有可能使首台350纳米光刻机成为其更大规模半导体设备研发进程的开端。

俄罗斯正着手将首台自主研发的量产型光刻机投入商业运营，这是该国重建本土半导体设备产业的重要里程碑。首台量产型“Progress STP-350”计划于2026年12月交付给莫斯科的Mapper公司。第二台机器计划交付给Element集团旗下的“Industry Solutions”公司。

泽列诺格勒纳米技术中心（ZNTC）与白俄罗斯公司Planar合作，开发了一种用于350纳米工艺节点半导体生产的新型系统。尽管350纳米工艺不如目前的半导体工艺先进，但它对于各种工业电子产品、功率器件、汽车零部件和专用传感器仍然至关重要。

首批量产机型交付俄罗斯客户

计划于12月交付的设备不仅仅是又一台工厂设备的到货。其目的是为了表明俄罗斯已经完成了从实验室研发到光刻系统批量生产的过渡。

Mapper是首家客户，隶属于俄罗斯国家技术集团公司（Rostec），并通过Shvabe控股公司与该公司有关联。Element集团旗下的Industry Solutions计划接收第二套量产系统。因此，这两套系统将分别整合到与俄罗斯国内微电子生态系统相关的企业中。

据俄罗斯媒体2026年9月11日报道，Progress STP-350基本版售价约为3.92亿卢布（不含增值税）。包含五年质保和扩展服务支持的版本售价约为5.61亿卢布。据报道，生产周期约为18个月。

此外，该机器已在俄罗斯国家工业设备登记册中注册，编号为 RAVC.442174.002TU，这可能会使其在国有企业的采购过程中获得优势。

具备200毫米晶圆加工能力的350纳米步进式光刻机

Progress STP-350 是一款投影式步进光刻机，可将光掩模上的图案转移到半导体衬底上。曝光区域尺寸为 22 毫米 x 22 毫米，工艺分辨率为 350 纳米。

该设备更适合成熟节点半导体制造，而不是尖端逻辑器件生产，因为它能够处理直径达 200 毫米的晶圆。

与传统的汞灯相比，采用固态激光器作为光源是其最显著的特点之一。正如所提供的规格参数所示，这种方法旨在提高能源效率并提供更大的功率。

据报道，该设备的产能可达每小时63片150毫米晶圆，而使用200毫米晶圆的生产产能约为每小时43片。这些数据意义重大，因为光刻设备必须能够在保持高分辨率的同时提供足够的产能，才能有效地进行批量生产。

为什么350纳米仍然重要

不能简单地将350纳米工艺与最新的半导体技术进行比较来判断这台机器的重要性。全球电子产业的大部分仍然依赖于成熟的工艺节点。

350纳米波长的激光器适用于多种应用，例如汽车电子、工业控制系统、电力电子和微机电系统（MEMS）器件。它也适用于红外探测器技术和专用光电子元件的开发。

这使得该技术对俄罗斯具有重要的战略意义，因为俄罗斯对成熟工艺半导体元件的需求超过了智能手机处理器和先进计算芯片。工业设备、车辆、能源系统、传感器、控制电子设备和国防相关系统都需要大量的成熟工艺半导体元件。

据报道，首位客户将运营占地约1500平方米的洁净室设施，年加工能力可达5000颗半导体，并参与俄罗斯工业和贸易部的一个项目，该项目专注于红外探测器的批量生产。这为这项新的光刻技术提供了一个潜在的直接应用前景。

俄罗斯寻求弥合关键装备缺口

由于光刻技术结合了精密光学元件、照明系统、机械定位、控制电子设备和专用软件，因此它是半导体制造中最具挑战性的国内复制技术之一。

几十年来，全球市场一直由少数几个国家的公司主导。涵盖成熟和更先进半导体工艺的光刻系统主要由日本佳能和尼康、荷兰ASML以及越来越多的中国设备制造商提供。

例如，佳能生产的i线系统工作波长为365纳米，适用于LED制造和MEMS等应用。尼康也提供成熟的步进式光刻系统，而ASML则提供用于大批量半导体制造的设备。与此同时，中国制造商一直在开发和商业化专为电力电子应用而设计的系统，这些系统涉及氮化镓和碳化硅等材料。

鉴于此，Progress STP-350 的推出为俄罗斯提供了一种具有战略意义的光刻设备国产替代方案，尽管它并非处于技术前沿。

更大的目标是130纳米

因此，350 纳米机器最好被理解为更广泛的技术路线图中的一个阶段，而不是最终目标。

俄罗斯宣布，下一代国产光刻系统预计将于2027年投入使用，该系统能够生产130纳米芯片。从350纳米过渡到130纳米，将大幅扩展俄罗斯国内可开发的半导体应用范围。

此次过渡还将评估俄白发展伙伴关系在制造业、精密机械、光学和曝光系统方面扩展能力的潜力。

然而，半导体自给自足并非仅仅始于生产最小的晶体管。它还取决于能否拥有可靠的国产设备，以生产种类繁多的成熟工艺节点处理器，这些处理器对于工业电子、电力系统、车辆和工厂的运行至关重要。Progress STP-350 正是为解决半导体供应链中的这一环节而设计的。这款正在研发中的 130 纳米制程设备表明，俄罗斯将其视为一项更广泛的光刻计划的开端，而非终点。

（来源：编译自frontierindia，谢谢）

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