北京
国家知识产权局信息显示，江苏先导微电子科技有限公司申请一项名为“一种复合式喷淋头及空间原子层沉积设备”的专利，公开号CN122687170A，申请日期为2026年8月。
专利摘要显示，本申请实施例提供的复合式喷淋头及空间原子层沉积设备，其中，复合式喷淋头包括沿基板的运动方向间隔设置的前驱体注入单元和吹扫隔离单元；所述前驱体注入单元包括沿前驱体流向依次连通的多级扩散腔和匀流面板，所述多级扩散腔用于降低所述前驱体的流速并促进所述前驱体混合均匀，所述匀流面板具有均布的孔道，各所述孔道的一端与所述多级扩散腔连通；所述吹扫隔离单元具有吹气风口，所述吹气风口呈现为狭缝，所述吹气风口用于生成隔离气幕。本申请的实施例确保了前驱体气体流向的一致性，利于使前驱体实现均匀分布；也利于实现前驱体极致均匀性与彻底气相隔离，由此利于在根源上抑制颗粒物生成。
天眼查资料显示，江苏先导微电子科技有限公司，成立于2021年，位于徐州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本58824万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏先导微电子科技有限公司参与招投标项目24次，财产线索方面有商标信息11条，专利信息175条，此外企业还拥有行政许可14个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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