CIOE亮相前瞻｜就在昨天，阿法龙光电工厂试生产圆满启动

距离阿法龙正式亮相光博会已经进入倒计时，而就在昨天（9 月 3 日），阿法龙迈出了标志性的一步，阿法龙光电四川德阳工厂试生产圆满启动。

从实验线到量产线，从母版到批量化生产的背后，是阿法龙产线的规划能力以及在研发与制造硬实力上的充分储备，它将为后续光电子芯片大批量生产提供充足的产能保障。

▲ 2026 年 9 月 3 日「阿法龙光电工厂试生产圆满启动」

01 双基地布局：从研发到量产的完整闭环

阿法龙光电拥有光电子芯片研发、小批量试产及大批量量产基地，形成从芯片设计、母版制造到量产加工的完整自主能力，具备从研发到量产的完整闭环：

•北京 · 研发中试基地——超表面光电子研发与工艺验证中心

•四川德阳 · 量产基地——总投资超 5 亿元，面向规模化交付

▲ 阿法龙光电子芯片制造基地

四组数字，看懂阿法龙的制造底座：

4500㎡+

百级洁净厂房洁净面积

5 亿元

德阳量产基地总投资

4 英寸

光芯片试产线·国内稀缺

8 英寸

光芯片量产线·全球稀缺

双轨产线是这套体系的核心设计：4 英寸试产线柔性验证，8 英寸量产线规模交付——新品先柔性跑通设计验证，再规模复制，研发与量产不再脱节。

02 微纳加工全流程工序贯通

阿法龙提供一站式微纳加工与代工服务，设计工艺全流程贯通：

母版设计 → EBL 光刻 → NIL 纳米压印 → ICP 刻蚀 → PVD 镀膜 → 精密切割 → 超净清洗 → AOI 量测 → 表征分析

▍A. 母版制造

•母版设计：超表面结构与二维光栅版图设计，从设计源头为量产服务

•EBL 光刻：电子束直写，将纳米级图形高精度转移至母版

▍B. 图形转移与成膜

•NIL 纳米压印：母版微纳结构批量复刻至基片，形貌高度一致

•ICP 刻蚀：等离子体刻蚀完成结构转移，兼容碳化硅等新型材料

•PVD 镀膜：物理气相沉积光学功能薄膜，膜厚均匀可控

•精密切割：高精度划片分割，边缘质量与尺寸精度受控

•超净清洗：去除颗粒与沾污，满足百级洁净标准

▲ 晶圆级微纳结构纳米压印

▍C. 检测与表征

•AOI 量测：自动光学检测，图形缺陷快速筛查

•表征分析：SEM + FIB + 膜厚仪 + 椭偏仪多维表征，数据闭环反馈工艺

目前，阿法龙已掌握超构表面核心技术，完成新型材料碳化硅光波导片的技术研发与工艺验证，支持 4 英寸试产、8 英寸量产与全流程代工。

03 全自主尖端设备

产能的前提是自主。公司拥有全流程芯片半导体尖端设备，关键工序设备齐备，支撑从母版到成品的全程自主制造：

电子束光刻系统 · 纳米压印设备 · ICP 刻蚀设备 · PVD 镀膜设备 · 精密切割设备 · 超净清洗系统 · AOI 检测设备 · 表征分析平台（SEM · FIB · 膜厚仪 · 椭偏仪）

全流程设备自主，意味着工艺参数自主、爬坡节奏自主、扩产路径自主——产能的每一步增长，都不受制于人。

04 严苛质检全程可溯

以全流程精密检验与多维表征能力，保障每一片光电子芯片的一致性、可靠性与可追溯性：

•全流程质量控制：IQC 来料检验 → IPQC 过程检验 → OQC 出货检验 → 批次追溯

•百级洁净环境管控：洁净度 · 温湿度 · 颗粒度全程监控

•检测与表征能力：AOI 缺陷检测、SEM 形貌观测、FIB 截面分析；膜厚测量、椭偏光学常数、均匀性检测；高低温、机械可靠性等验证项目，支持按客户标准定制测试

▲ AOI 检测设备：缺陷自动识别，图形全检覆盖

管理体系认证齐备：ISO 9001 质量管理体系 · ISO 14001 环境管理体系 · ISO 45001 职业健康安全管理体系。

05制造能力是一套完整的产能保障体系一套面向后续产能的保障体系建设

•柔性验证 → 规模复制的爬坡机制：4 英寸试产线承接新品导入与工艺定型，成熟一项、转移一项，8 英寸量产线随即规模复制，产能爬坡有序有章法

•双基地协同的产能纵深：北京研发中试基地持续输出工艺成果，四川德阳量产基地承接规模交付，研发与产能互为备份、彼此支撑

•5 亿元基地投入的产能空间：4500 ㎡+ 百级洁净厂房与全流程设备布局，为后续产线扩展预留了充足的物理与工艺空间

•全流程自主的产能可控：从母版到成品的每一道关键工序都在自己手中，产能增长的节奏由订单决定，而不是被外部供应链卡脖子

从试产到量产，从量产到扩产——阿法龙的制造能力，就是后续产能的充分保障。

观展邀约

新鲜出炉的产品，将在 5 天后正式亮相。

无论您是产业链伙伴、投资机构，还是对 AR 未来好奇的同行者，都欢迎来坐坐。聊产线、聊工艺、聊产能、聊合作...

观展信息

•时间：2026 年 9 月 9 日—11 日 9:00–17:00

•地点：深圳国际会展中心（宝安新馆）

•展位：2 号馆 · 2D175（新型显示技术展区）

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倒计时 5 天

9 月 9 日CIOE，阿法龙与您不见不散