芯源微取得晶圆抓取装置相关专利，抓取时辨晶圆缺陷，提去胶设备产能

来源：新浪证券-红岸工作室

9月2日消息，国家知识产权局信息显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请一项名为“晶圆抓取装置及缺陷晶圆的判断方法”的专利，授权公告号CN116130404B，授权公告日为2026年9月1日。申请公布号为CN116130404A，申请号为CN202310186578.X，申请公布日期为2026年9月1日，申请日期为2023年3月1日，发明人李舒驰、吴天尧、陈兴隆、苗涛，专利代理机构上海恒锐佳知识产权代理事务所（普通合伙），专利代理师黄海霞，分类号H10P72/76、H10P74/20。

专利摘要显示，本发明提供了一种晶圆抓取装置及缺陷晶圆的判断方法，所述晶圆抓取装置包括包括夹持执行器，所述夹持执行器包括固定夹持部和活动夹持部；所述固定夹持部上具有对称设置的传感器，所述固定夹持部和所述活动夹持部配合形成环形的夹持区域用于夹持晶圆，且所述传感器靠近所述活动夹持部设置，以使所述传感器的部分朝向所述夹持区域。本发明在抓取晶圆的时候即可判断出晶圆是否存在缺陷，避免对缺陷晶圆进行去胶处理，从而提高了晶圆去胶设备的整体产能。

芯源微是国内涂胶显影设备领域的领军企业，专注半导体专用设备研发，拥有深厚技术壁垒与国产替代稀缺性。公司成立于2002年12月17日，2019年12月16日登陆上海证券交易所，注册与办公所在地均为辽宁省沈阳市。

公司主营业务为半导体专用设备的研发、生产和销售，申万行业分类隶属于电子-半导体-半导体设备赛道，同时覆盖光刻机、HBM概念、半导体设备三大热门概念板块。

2026年上半年，芯源微实现营业收入8.97亿元，在27家同行业可比公司中排名第14位，该数值恰好等于行业中位数，而同期行业营收第一名北方华创达201.61亿元、第二名中微公司达66.91亿元，行业平均营收为21亿元；当期公司实现净利润871.09万元，行业排名23/27，同期行业净利润第一名北方华创为32.29亿元、第二名中微公司为27.97亿元，行业平均净利润4.99亿元，行业中位数为1.57亿元。

指标类型 报告期 芯源微数值 行业排名 行业可比标的/均值中位数 对应数值 营业收入 2026年上半年 8.97亿元 14/27 行业第一名（北方华创） 201.61亿元 营业收入 2026年上半年 8.97亿元 14/27 行业第二名（中微公司） 66.91亿元 营业收入 2026年上半年 8.97亿元 14/27 行业平均数 21亿元 营业收入 2026年上半年 8.97亿元 14/27 行业中位数 8.97亿元 净利润 2026年上半年 871.09万元 23/27 行业第一名（北方华创） 32.29亿元 净利润 2026年上半年 871.09万元 23/27 行业第二名（中微公司） 27.97亿元 净利润 2026年上半年 871.09万元 23/27 行业平均数 4.99亿元 净利润 2026年上半年 871.09万元 23/27 行业中位数 1.57亿元

沈阳芯源微电子设备股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1狭缝涂布机双驱龙门柔性补偿装置及平行度调节方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610851677.92026-06-12CN122538395A2026-08-11杨德鑫、尚文虎、郭生华2增粘单元以及增粘单元使用方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610839617.52026-06-11CN122506776A2026-08-04姜倍鸿、王岳天、焦天宇、林婉茹、唐振宇3用于半导体设备药液存储的装置及药液供给系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610653543.62026-05-13CN122211700A2026-06-16王雨婷、郭亚内、张建、孙元斌、唐学峰4用于半导体设备大容量药液存储的装置及药液供给系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610653544.02026-05-13CN122209630A2026-06-16郭亚内、王雨婷、张建、唐学峰、刘江山5一种胶瓶分液装置、安装方法及涂胶显影设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610653545.52026-05-13CN122379893A2026-07-14郭亚内、王雨婷、孙元斌、莫瑞琦、刘江山6涂胶杯及其多腔室光刻胶涂布设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610617137.42026-05-07CN122183870A2026-06-12齐鹏、于威达、邢栗7用于涂胶显影设备的胶瓶缓存结构及涂胶显影设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610513379.92026-04-17CN122410905A2026-07-17郭亚内、王雨婷、莫瑞琦、唐学峰、刘江山8基板中心清洗装置及基板中心清洗方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610471313.82026-04-10CN122373726A2026-07-10葛壮、孙元斌、郑云龙9抽拉结构的门锁发明专利实质审查的生效、公布CN202610384015.52026-03-26CN122039876A2026-05-15郭亚内、王雨婷、唐学峰、莫瑞琦10一种均匀涂胶的装置和方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610358426.72026-03-23CN122194572A2026-06-12孙洪君、孙鹏、陈建11一种用于晶圆烘烤的双温度检测及加热控制方法及系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610003990.72026-01-05CN121908837A2026-04-21黄诗淇、崔雨楠、白智源、尚柏屹12一种恒温恒湿洁净的晶圆工艺环境系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511949923.62025-12-23CN121752002A2026-03-27要一帆、毛家伟、陈艳双13压力罐机械互锁装置、压力罐及排泡管路系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511877871.62025-12-12CN121452341A2026-02-03田冲、张怀东、王丽鹤、刘健、孙元斌14匀风过滤装置件及半导体涂胶显影设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511777389.52025-11-28CN121371817A2026-01-23毛家伟、王超群、邓晓军、陈雷15匀风装置及半导体涂胶显影设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511777386.12025-11-28CN121432811A2026-01-30陈雷、王超群、毛家伟16涂胶显影装置的控制方法、设备、介质和程序发明专利实质审查的生效、公布CN202511772460.02025-11-27CN121325516A2026-01-13王超群、张建、邓晓军17一种涂胶显影设备及传片方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511772449.42025-11-27CN121578594A2026-02-27王超群、陈艳双、张建18一种双传片路径涂胶显影设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511764633.42025-11-27CN121578593A2026-02-27王超群、陈艳双、张建19涂胶显影的控制方法、设备、介质和程序发明专利授权CN202511764641.92025-11-27CN121386303B2026-07-21王超群、张建、邓晓军20一种涂胶显影设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511754101.22025-11-26CN121411079A2026-01-27谢宏宇、孙元斌、韩禹、刘硕、程远、冯荻21半导体设备的排风系统发明专利公布CN202511754103.12025-11-26CN121654820A2026-03-13陈雷、毛家伟、邓晓军22药液储存装置及药液供给系统发明专利发明专利申请公布后的视为撤回、实质审查的生效、公布CN202511754105.02025-11-26CN121715298A2026-03-24唐学峰、郭亚内、王雨婷、孙元斌、刘江山23一种涂胶显影设备的胶瓶更换用结构发明专利实质审查的生效、公布CN202511716218.12025-11-21CN121386302A2026-01-23王超群、毛家伟、陈艳双24用于高台阶晶圆边缘顶角的涂胶保护方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511711425.82025-11-20CN121467283A2026-02-06姜倍鸿、杨延政、杨悦、王岳天、唐振宇25一种晶圆加工腔室的供液管路及管路清洗方法发明专利公布CN202511711411.62025-11-20CN121669507A2026-03-17莫瑞琦、邓晓军、王雨婷、陈艳双、唐学峰26一种改善显影工艺的装置及干式显影工艺方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511678519.X2025-11-17CN121432819A2026-01-30齐鹏、刘凯宁、王昱昊27阳压自动调节系统、半导体设备及调节方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511672621.92025-11-14CN121523432A2026-02-13毛家伟、陈雷、邓晓军28一种方形基板双面UV照射清洗装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511651642.22025-11-12CN121531954A2026-02-13黄诗淇、郭生华、龚明、张逢洋、孙洪君29一种准分子紫外清洗用结构发明专利公布CN202511651646.02025-11-12CN121548249A2026-02-17黄诗淇、郭生华、龚明、张逢洋、陈建30一种改善方形基板涂胶四角均匀性的配合设置结构发明专利实质审查的生效、公布CN202511615287.32025-11-06CN121178388A2025-12-23陈建、张逢洋、郭生华、龚明、黄诗淇31一种方形基板涂胶后对边缘进行高精度光阻去除的装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511615288.82025-11-06CN121232551A2025-12-30郭生华、陈建、张逢洋、龚明、阚宇迪32一种晶圆加工腔室发明专利实质审查的生效、公布CN202511596338.22025-11-04CN121443004A2026-01-30石晶、孙元斌、韩禹、程远、谢宏宇33半导体设备供液系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511571716.12025-10-30CN121386301A2026-01-23郭亚内、王雨婷、莫瑞琦、高超、刘江山34一种方形基板工艺的高温SPM自动混酸喷头发明专利实质审查的生效、公布CN202511545914.02025-10-28CN121149060A2025-12-16龚明、戴红峰、于洋、田聪、付笑寒35一种掩膜版传送装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511518647.82025-10-23CN121084920A2025-12-09张逢洋、黄诗淇、龚明、阚宇迪、陈建36一种低接触型方形基板自定位手指实用新型授权CN202522239275.72025-10-23CN224710093U2026-09-01尹晓飞、郭生华、龚明、张逢洋、阚宇迪37液处理器件及液处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511485570.92025-10-17CN121335457A2026-01-13刘凯宁、于威达、张怀东、王丽鹤、田冲38晶圆宏观缺陷检测设备外观专利授权CN202530600744.62025-10-14CN309916078S2026-04-14魏浩东、王震、高嘉伟、吴天昊、李海航39清洗治具及杯体清洗方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511355541.02025-09-22CN121103794A2025-12-12刘凯宁、任洪麟、王丽鹤、张怀东40基板涂胶显影设备外观专利授权CN202530520521.92025-09-02CN309928262S2026-04-17阚宇迪、尹晓飞、张逢洋、郭生华41一种晶圆清洗装置发明专利公布CN202511237962.32025-09-01CN121035017A2025-11-28葛壮、郑云龙、张伟业、郝岩松42基板去胶清洗设备外观专利授权CN202530497953.22025-08-22CN309850246S2026-03-17付笑寒、戴红峰、郭生华、龚明、杨泽43一种针对HBM封装的晶圆产品清洗flux的工艺方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510829028.42025-06-20CN120679759A2025-09-23李孝令、李恒、张名超、朴勇男、李一南44一种晶圆浸泡装置的升降结构发明专利公布CN202510780067.X2025-06-12CN120664468A2025-09-19张庭霄、刘忠贺、陈超、向浩源45一种晶圆彩色图像一致性评价与缺陷检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510679146.12025-05-26CN120634971A2025-09-12魏浩东、张金宇、李海航、苗涛、王玉宝46一种晶圆盒转接器前门机械锁定结构实用新型授权CN202520976124.72025-05-19CN224173893U2026-04-28阚宇迪、刘健、郭生华、龚明、杨佳雨47一种晶圆边缘曝光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202510609657.62025-05-13CN120406054A2025-08-01王永洁、王翰阳、孙元斌、韩禹、徐庆阳48一种用于晶圆曝光的照明装置及晶圆曝光系统实用新型授权CN202520930478.82025-05-13CN224190392U2026-05-01王永洁、王翰阳、孙元斌、韩禹、徐庆阳49一种用于半导体清洗设备的支撑装置和半导体清洗设备实用新型授权CN202520880520.X2025-05-07CN224205577U2026-05-05赵旭、郝岩松、郭生洋50一种浸泡晶圆运输防带液方法及实施该方法的防带液装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510495560.72025-04-21CN120413471A2025-08-01张庭霄、郭生华、刘忠贺、陈超