北京
国家知识产权局信息显示，江苏富乐德石英科技有限公司申请一项名为“一种用于半导体石英环的退火装置及加工方法”的专利，公开号CN122647098A，申请日期为2026年6月。
专利摘要显示，本发明提供一种用于半导体石英环的退火装置及加工方法，涉及半导体石英器件热处理技术领域。该退火装置，包括密封腔体、激光扫描加热模块、红外温度监测调控模块、真空吸附夹具、氮气气氛置换模块及梯度风冷降温模块；该加工方法采用高纯超声清洗、聚四氟乙烯真空装夹、氮气低氧置换，按石英环壁厚差异化设定激光功率、扫描速度与退火温度，通过同心圆周和径向渐变全域扫描、红外实时闭环控温、氮气梯度降温完成退火。本发明单批次退火时长大幅缩短，应力消除彻底，无金属杂质与粉尘污染，无需二次清洗，适配小批量、多规格半导体石英环柔性生产，有效避免薄壁石英环开裂、尺寸变形问题，保障石英环高纯特性与后续半导体制程稳定性。
天眼查资料显示，江苏富乐德石英科技有限公司，成立于2018年，位于盐城市，是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本10505万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏富乐德石英科技有限公司参与招投标项目13次，专利信息181条，此外企业还拥有行政许可63个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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