华海清科申请安全控制系统相关专利，保障晶圆加工设备运行的安全控制作用

来源：新浪证券-红岸工作室

8月29日消息，国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司申请一项名为“一种应用于晶圆加工设备的安全控制系统”的专利。申请公布号为CN122653057A，申请号为CN202610759055.3，申请公布日期为2026年8月28日，申请日期为2022年11月9日，发明人万明军，分类号G05B19/042。

专利摘要显示，本发明公开了一种应用于晶圆加工设备的安全控制系统，包括安全门开关、控制模块、安全继电器和伺服驱动器，安全门开关与控制模块连接，控制模块与安全继电器连接，安全继电器与伺服驱动器连接，安全门开关输出双路开关信号和锁闭信号至控制模块，控制模块输出锁定解锁命令至安全门开关，控制模块根据所述双路开关信号和锁闭信号输出STO信号至安全继电器，安全继电器输出动作信号至伺服驱动器，伺服驱动器基于其工作状态输出STO反馈信号至控制模块。

华海清科是国内CMP设备龙头企业，主营半导体核心设备，具备全产业链技术壁垒。公司成立于2013年4月10日，于2022年6月8日登陆上海证券交易所，注册及办公所在地均为天津市。

华海清科主营业务为从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务，申万行业分类隶属于电子-半导体-半导体设备板块，同时覆盖HBM概念、半导体设备、中芯国际概念等热门概念赛道。

2026年上半年，华海清科实现营业收入26.43亿元，在22家同行业可比公司中排名第6，高于行业平均23.67亿元、大幅领先行业中位数9.41亿元，仅低于行业头部企业北方华创的201.61亿元与中微公司的66.91亿元；同期实现净利润5.63亿元，行业排名第7，略低于行业平均5.71亿元，显著高于行业中位数1.42亿元，行业前两位分别为北方华创32.29亿元、中微公司27.97亿元。

指标类型 2026年上半年数值 行业排名/总家数 行业头部企业数值 行业平均数 行业中位数 营业收入 26.43亿元 6/22 北方华创201.61亿元、中微公司66.91亿元 23.67亿元 9.41亿元 净利润 5.63亿元 7/22 北方华创32.29亿元、中微公司27.97亿元 5.71亿元 1.42亿元

华海清科股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1一种抛光头、抛光单元和抛光设备发明专利公布CN202611079931.42026-07-21CN122584172A2026-08-18王同庆、程子政、孟松林、金军2用于晶圆减薄的砂轮机构、晶圆减薄设备及控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202611034532.62026-07-13CN122518233A2026-08-07李小娟、付永旭、靳凯强、刘远航3一种数据融合方法、电涡流测量系统、抛光单元和设备发明专利实质审查的生效、公布CN202611007390.42026-07-08CN122508513A2026-08-04吴英明、王科、田芳馨4晶圆减薄方法、设备、存储介质及程序产品发明专利实质审查的生效、公布CN202611007389.12026-07-08CN122518151A2026-08-07尹国强、董跃巍、刘远航、李森、赵德文、王同庆、赵春生5一种用于化学机械抛光的修整装置和修整方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610903952.72026-06-23CN122463047A2026-07-28鲁泽坤、陈映松、王春龙、崔云鑫、曹自立6一种用于化学机械抛光的保持环和承载头发明专利实质审查的生效、公布CN202610883688.52026-06-18CN122518227A2026-08-07王同庆、陶冶、裴有志、王宇、孟松林、张洪蛟7一种抛光垫更换系统和方法发明专利公布CN202610768024.42026-05-30CN122442511A2026-07-24王科、陈映松、王怀锋、李长坤、成鹏8一种抛光垫装卸装置及装卸方法发明专利公布CN202610768019.32026-05-30CN122480836A2026-07-31王科、陈映松、王怀锋、李长坤、成鹏9一种抛光垫装卸装置、设备和方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610768020.62026-05-30CN122500627A2026-08-04王科、陈映松、王怀锋、李长坤、成鹏10一种晶圆抛光方法、抛光单元和抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610705158.12026-05-21CN122248984A2026-06-19田云、辜声攀、杜新祥、马海港11一种用于化学机械抛光的承载头和化学机械抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610668707.22026-05-15CN122353463A2026-07-10程子政、孟松林、金军12一种晶圆后处理装置和处理方法发明专利公布CN202610622639.62026-05-08CN122476855A2026-07-28路新春、马钰皓、王剑、李长坤、刘远航13一种抛光带与晶圆缺口相对位置的检测装置和检测方法发明专利公布CN202610546525.82026-04-23CN122099962A2026-05-29周朝龙、辛宇航、郭垒、杨志冰14晶圆翻转装置、晶圆翻转方法及晶圆处理设备发明专利授权CN202610432475.02026-04-03CN121969113A2026-05-01南奇童、张龙华、张鑫、申兵兵15抛光液分布预测方法、化学机械抛光方法及设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610366890.02026-03-24CN122033825A2026-05-15张力飞、王同庆、赵南皓16晶圆加工系统、终点检测装置、方法及电子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610348698.92026-03-20CN122253080A2026-06-23王同庆、王科、窦华成、田芳馨17晶圆清洗装置及晶圆清洗方法发明专利授权CN202610230602.92026-02-27CN121752004B2026-05-15王同庆、陈贺、刘颖、曹自立、李长坤18晶圆清洗用匀流结构、晶圆清洗装置及清洗方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610663715.82026-02-27CN122514214A2026-08-04王同庆、陈贺、刘颖、曹自立、李长坤19晶圆清洗装置及晶圆清洗方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610663720.92026-02-27CN122535170A2026-08-07王同庆、陈贺、刘颖、曹自立、李长坤20化学机械抛光设备、晶圆加工方法和化学机械抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610211064.92026-02-13CN122077513A2026-05-26路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆21晶圆化学机械抛光设备及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610203298.92026-02-12CN121870631A2026-04-17路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆、赵德文22化学机械抛光设备、晶圆加工方法和化学机械抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610204916.12026-02-12CN121946355A2026-05-01路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆23化学机械抛光设备、晶圆加工方法和化学机械抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610198479.72026-02-11CN121893158A2026-04-21路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆24晶圆处理装置、控制方法及化学机械抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610198513.02026-02-11CN122077512A2026-05-26路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆25一种化学机械抛光设备和抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610188222.32026-02-10CN121893155A2026-04-21刘晟桤、李俊卿、李长坤、王科26晶圆化学机械抛光设备及基于晶圆状态的动态密封方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610188204.52026-02-10CN122058269A2026-05-19张海鹏、曹冠宁、范少文、王科、孙传恽、李长坤27一种化学机械抛光设备和抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610182595.X2026-02-09CN121893154A2026-04-21霍恩彬、李长坤、李俊卿、申兵兵、王剑28一种具有小体积气液分离箱的晶圆处理设备及晶圆处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610049289.92026-01-15CN121513539A2026-02-13陈贺、姚福聪、曹自立、李长坤29抛光方法、电子设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610009656.22026-01-06CN121608055A2026-03-06王同庆、吴兴、李长坤、李俊卿、王科30抛光装置和晶圆加工设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610009659.62026-01-06CN121848277A2026-04-14路新春、吴兴、王同庆、李俊卿、李长坤31晶圆修边装置、晶圆加工设备及加工方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511925734.52025-12-19CN121729009A2026-03-24路新春、王同庆、赵德文、刘远航、请求不公布姓名、鲍伟成32晶圆边缘动态修整方法和晶圆修边装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511925732.62025-12-19CN121848541A2026-04-14赵德文、高亚磊、李森、刘远航、欧阳亮33晶圆修边装置、晶圆加工设备及加工方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511923156.12025-12-19CN121925066A2026-04-24刘远航、请求不公布姓名、鲍伟成、赵德文、路新春34晶圆边缘修整方法、边缘修整装置和加工设备发明专利公布CN202511830466.92025-12-06CN121649858A2026-03-13欧阳亮、高亚磊、王玉、檀广节35一种用于化学机械抛光的承载头和抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511830467.32025-12-06CN121715974A2026-03-24王宇、刘宏伟、孟松林、金军、张洪蛟36一种晶圆处理设备、空气洁净度控制方法和空气清洁系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511830465.42025-12-06CN121756222A2026-03-31王同庆、孙传恽、张丛37一种用于电化学机械抛光的承载头和抛光装置发明专利公布CN202511789495.52025-12-01CN121821233A2026-04-10刘二朋、王浩、王国栋、许振杰38一种修整盘装卸装置、智能维护系统和方法发明专利发明专利申请公布后的视为撤回、公布CN202511718719.32025-11-21CN121670521A2026-03-17王科、李丹、陈映松、王怀锋、成鹏39一种晶圆抛光方法、抛光单元和处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511696760.52025-11-19CN121447528A2026-02-03路新春、江鹏、周斌、谭锐40一种化学机械抛光装置、抛光设备和抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511680481.X2025-11-17CN121608057A2026-03-06曹自立、李长坤41一种晶圆后处理装置、抛光设备和抛光方法发明专利公布CN202511680510.22025-11-17CN121693049A2026-03-17曹自立、李长坤42晶圆划切设备、晶圆加工方法及控制装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511649635.92025-11-12CN121340478A2026-01-16刘远航、鲍伟成、朱林、赵德文、路新春43一种弹性膜、承载头、化学机械抛光设备和方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511629574.X2025-11-08CN121179339A2025-12-23王宇、张浩、左少杰、金军、张洪蛟44一种晶圆膜厚测量方法、装置和化学机械抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511553470.52025-10-29CN121104883A2025-12-12窦华成、田芳馨、王科45抛光装置和晶圆加工设备发明专利发明专利申请公布后的撤回、实质审查的生效、公布CN202511556082.22025-10-29CN121132497A2025-12-16路新春、吴兴、王同庆、李俊卿、李长坤46抛光方法、电子设备及存储介质发明专利发明专利申请公布后的撤回、实质审查的生效、公布CN202511556080.32025-10-29CN121132496A2025-12-16王同庆、吴兴、李长坤、李俊卿、王科47一种方形承载头和化学机械抛光系统发明专利授权CN202511524648.32025-10-24CN121004541B2026-02-06程子政、孟松林、金军48一种晶圆清洗装置、清洗方法和处理设备发明专利公布CN202511361499.32025-09-23CN121018398A2025-11-28张丰达、王剑、李长坤49一种用于化学机械抛光的承载头及抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511270350.42025-09-08CN120862556A2025-10-31刘鑫博、李润豪、金军、张洪蛟50一种用于化学机械抛光的承载头及抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511270348.72025-09-08CN120862555A2025-10-31刘鑫博、李润豪、金军、张洪蛟