北京
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国家知识产权局信息显示，科磊股份有限公司申请一项名为“经由物镜外部宽带照明的单次抓取光瞳景观”的专利，公开号CN122663524A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，一种叠加计量系统可包含具有物镜及定位在光瞳平面处的检测器的集光子系统。所述系统可包含照明子系统，所述照明子系统具有用以将一或多个宽带照明光束以所述物镜的数值孔径外的入射角引导到样本上的叠加目标的照明光学器件，其中所述叠加目标包含具有周期性特征形成的光栅叠光栅结构的一或多个单元。所述系统可进一步包含控制器，所述控制器用以从所述检测器接收所述单元的光瞳图像，其中所述一或多个光瞳图像的相应者包含来自所述一或多个宽带照明光束中的至少一者的一级衍射，其中所述一级衍射的光谱在所述光瞳平面中光谱色散。所述控制器可进一步基于所述一或多个光瞳图像的所选择部分来产生所述样本的叠加测量。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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