IT时代网8月25日消息,科技媒体昨日(8 月 24 日)报道,京都大学研究团队研发出新型碳化硅(SiC)晶体管,采用标准离子注入工艺制造,可在 600℃(873 K)下工作。相关成果已于 8 月 17 日发表在《APL Electronic Devices》。
研究团队选择"结型场效应晶体管"(JFET)结构,并将栅极置于沟道下方,形成底栅(bottom-gate)布局。离子注入过程中,部分掺杂原子会沿晶体通道深入目标区域之外,形成"沟道效应"尾部。传统顶栅结构难以补偿这一影响,导致设计阈值电压与实测值相差超过 2 V;底栅结构可捕获偏离预定深度的掺杂原子,让该偏差在 400℃ 下缩小至 0.1 V 以内。
为减少高温漏电,团队还加入"双阱"(double-well)隔离结构,通过 pn 结隔离单个器件,避免依赖下方半绝缘碳化硅衬底。这套方案意味着 SiC 器件有望在更严苛的高温环境中稳定工作,为电动汽车、航空航天以及工业传感等需要耐高温电子器件的场景提供了新可能。
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注:本文综合自IT之家等,文中包含AI辅助创作的内容。
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