国家知识产权局信息显示,洛阳中硅高科技有限公司申请一项名为“棒状碳化硅尾气组分再利用的方法及棒状碳化硅生产系统”的专利,公开号CN122627437A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本发明属于半导体技术领域,具体涉及一种棒状碳化硅尾气组分再利用的方法及棒状碳化硅生产系统,通过设置尾气恒温分解部件使未反应完全的甲基氯硅烷分解完全,生成成分稳定的气体后,避免尾气中甲基氯硅烷等成分影响尾气的利用,回收工艺复杂成本高等问题,可促使尾气生成更多的三氯氢硅、二氯二氢硅、四氯化硅和甲烷,通过设置专用的尾气恒温分解部件,可实现不影响碳化硅沉积生长的同时,通过对尾气温度压力调节,实现三氯氢硅、二氯二氢硅等作为多晶硅生产的原料,并且通过氢化反应和裂解反应也能实现四氯化硅和甲烷的再利用,从而利于实现碳化硅沉积尾气的再利用,有利于提高原料的利用率,从而降低生产成本。
天眼查资料显示,洛阳中硅高科技有限公司,成立于2003年,位于洛阳市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本105698.743399万人民币。通过天眼查大数据分析,洛阳中硅高科技有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目2421次,财产线索方面有商标信息14条,专利信息246条,此外企业还拥有行政许可1156个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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