北京
国家知识产权局信息显示，上海束泰电子科技有限公司申请一项名为“一种多路水泄露监测平台”的专利，公开号CN122591145A，申请日期为2026年5月。
专利摘要显示，本发明属于半导体设备运维检测技术领域，公开一种多路水泄露监测平台，旨在解决现有离子注入机水路检测设备适配性差、效率低、微泄漏漏检率高、缺乏安全联动及运维不便的问题。该平台包括移动承载基座、水力循环模块、多路分流控压模块、多维度传感监测模块及智能电控安全模块；移动承载基座（移动小车、机架）实现灵活移动，水力循环模块保障超纯水供给，多路分流控压模块实现四路同步检测，多维度传感监测模块精准捕捉微泄漏，智能电控安全模块实现毫秒级紧急停机。本发明适配半导体洁净场景，可用于离子注入机水路组件维修复测、备件检测及现场巡检，提升检测效率与安全性，满足行业合规管控需求。
天眼查资料显示，上海束泰电子科技有限公司，成立于2017年，位于上海市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海束泰电子科技有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目4次，专利信息1条，此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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