北京
国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种承载舟及半导体热处理设备”的专利，公开号CN122602815A，申请日期为2025年2月。
专利摘要显示，本申请公开一种承载舟及半导体热处理设备，所公开的承载舟包括舟本体和测温装置，舟本体具有多个层叠设置的晶圆放置位，晶圆放置位可用于放置晶圆；测温装置包括安装板和测温主体，测温主体包括传输导线和多个温度探头，多个温度探头间隔设置于传输导线上。安装板设置在晶圆放置位上，测温主体布设于安装板，以在安装板上形成多个测温点。采用上述的测温装置，由于多个测温点可以直接对晶圆表面进行温度测量，从而可以准确反应晶圆表面的温度；并且，多个测温点中的一者位于晶圆放置位的中心区域，可以直接获取晶圆中心区域的温度，进一步提升了晶圆表面温度测量的准确性，进而可以提升晶圆表面温度的控制精度，有利于提升晶圆的良率。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目1477次，财产线索方面有商标信息75条，专利信息5900条，此外企业还拥有行政许可340个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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