懂芯片行业的人都清楚,想要量产5nm及以下先进工艺芯片,EUV光刻机是唯一刚需设备,没有任何替代品。
目前全球能独立造出EUV光刻机的企业,只有荷兰ASML一家,台积电、三星、英特尔等顶级晶圆厂,全都依赖它的设备。
而国内一直无法购入EUV光刻机,核心原因就是美国出台禁令,阻止设备入华,忌惮我们突破先进芯片工艺。
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很多人都以为,ASML垄断了EUV市场,一台设备售价十几亿,利润肯定被它独吞。
但真实的行业格局远比大家想象的复杂,看似风光的ASML,本质上更像一个高端组装厂,一台天价光刻机的核心利润,近四成都被美国和德国企业瓜分,ASML自身赚取的只是组装和整合的辛苦钱。
EUV光刻机的造价极其高昂,初代NA=0.33型号单价超1亿美元,折合人民币10亿多元,而新一代NA=0.55的Hyper EUV光刻机,单价更是飙升至4亿多美元,堪称工业设备里的天价产品。通过行业机构对EUV整机的成本拆解,就能清晰看到背后的利润分配格局。
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一台EUV光刻机由超10万个零件组成,供应链覆盖全球5000多家企业,但真正决定设备性能、占据高价值的核心部件仅有三项,分别是光学系统、激光光源和精密工作台,这三大核心部件合计占据整机51%的价值,剩下49%为各类通用零部件与配套组件。
以一台总价13.6亿元的EUV光刻机为例,价值占比最高的是光学系统,占到整机成本的24%,对应价值超3亿元。这一核心部件完全由德国蔡司独家供应,全球没有第二家厂商能够替代,是保障EUV光刻精度的关键,也是德国拿捏行业话语权的核心筹码。
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其次是激光光源系统,占整机价值的15%,折合成本约2亿元,由美国Cymer公司独家提供。这套激光轰击锡靶的核心系统,是EUV实现极紫外光刻的核心技术,完全掌握在美国企业手中。仅仅是蔡司光学系统加美国光源,两大部件就拿走了整机近40%的价值。
而作为设备组装方的荷兰ASML,唯一自主掌控的核心部件是精密工作台,价值占比仅12%,折合1.6亿元左右。其余近一半的成本,分散在全球各地的供应链企业手中。不难看出,ASML的核心能力,从来不是自研所有核心技术,而是整合全球顶尖供应链,将上万颗精密零件,组装成精度顶尖的光刻机。
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这也完美解释了一个关键问题:为什么ASML身为设备厂商,却完全没有自主定价和售卖的自主权。因为EUV最核心的技术、最高价值的部件,都掌控在美国、德国手中,美国掌握核心光源技术,具备绝对的话语权。再加上荷兰本身受制于美国的地缘格局,ASML只能听从美国的出口管制规则,无法自主决定设备的售卖对象。
客观来看,EUV光刻机的垄断,从来不是单一企业的垄断,而是欧美高端精密制造的联合垄断。ASML看似是行业赢家,实则只是全球高端供应链的整合者。真正掌握核心命脉、赚取大头利润的,是手握关键技术的美德企业,这也是全球先进芯片工艺格局难以被轻易打破的根本原因。
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