北京
国家知识产权局信息显示，苏州航菱微精密组件有限公司申请一项名为“一种晶圆级耐腐蚀涂层及其制备方法”的专利，公开号CN122564549A，申请日期为2026年6月。
专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆级耐腐蚀涂层及其制备方法，所述耐腐蚀涂层附着于晶圆基底的非活性表面或半导体腔体耗材表面，自所述基底向外依次包括：热应力梯度缓冲层，所述热应力梯度缓冲层为富硅富氮非晶态化合物层，其内部存在沿厚度方向的组分梯度，所述组分梯度表现为靠近基底一侧的硅原子摩尔占比大于靠近外侧的硅原子摩尔占比；应力耗散纳米叠层，沉积生长于所述热应力梯度缓冲层之上，由至少20个周期的第一介电亚层和第二介电亚层交替沉积构成，本发明的热应力梯度缓冲层的组分渐变设计与阶梯退火工艺相结合，使涂层与硅基底的结合强度显著提升，在严苛冷热冲击循环老化测试中可实现零脱落，有效解决界面热失配这一行业顽疾。
天眼查资料显示，苏州航菱微精密组件有限公司，成立于2017年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本515万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州航菱微精密组件有限公司共对外投资了7家企业，财产线索方面有商标信息2条，专利信息42条，此外企业还拥有行政许可9个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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