北京
国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司申请一项名为“一种电荷检测装置及半导体设备”的专利，公开号CN122579911A，申请日期为2025年2月。
专利摘要显示，本发明公开了一种电荷检测装置及半导体设备，半导体设备包括腔体，腔体内设置静电吸盘，静电吸盘具有放置面，放置面用于放置晶圆片；电荷检测装置包括：探头，沿静电吸盘的轴向活动设置于静电吸盘，探头与放置面之间具有一定间隙；控制系统，电连接于静电吸盘，用于对静电吸盘提供电压；检测系统，电连接于探头，用于检测探头处的电荷量；在工作状态中，探头朝向放置面移动并产生感应电荷，使探头的表面与放置面之间产生感应电场，检测系统检测探头处的电容变化，计算电荷量，并反馈至控制系统，控制系统对所静电吸盘施加电压。本发明用以检测静电吸盘上携带的电荷量，能在施加反向电压之前确定所要施加的反向电压的大小。
天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目192次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息1106条，此外企业还拥有行政许可57个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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