北京
国家知识产权局信息显示，上海富乐德智能科技发展有限公司申请一项名为“一种去除半导体刻蚀设备陶瓷部件黑色沉积物的清洗方法”的专利，公开号CN122558867A，申请日期为2026年6月。
专利摘要显示，本发明公开了一种去除半导体刻蚀设备陶瓷部件黑色沉积物的清洗方法，属于半导体设备零部件清洗技术领域。本发明工艺先采用800#油石对陶瓷部件表面进行机械打磨，去除表层松散、厚层黑色沉积物；再将陶瓷部件放入体积比1:1的电子级硫酸双氧水混合清洗液中，常温浸泡15‑30min，通过化学强氧化作用彻底剥离残留致密黑色沉积物，最后经超纯水冲洗、烘干完成清洗。本发明采用机械预处理结合化学精洗的复合工艺，攻克了常规清洗方式无法彻底去除陶瓷部件黑色沉积物的技术难题，清洗彻底、无基材损伤，工艺简单、成本低廉，可有效恢复刻蚀设备陶瓷部件的使用性能，延长部件使用寿命，降低半导体设备运维成本，适配半导体行业精密零部件的洁净清洗需求。
天眼查资料显示，上海富乐德智能科技发展有限公司，成立于2019年，位于上海市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海富乐德智能科技发展有限公司参与招投标项目7次，专利信息75条，此外企业还拥有行政许可18个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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