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国家知识产权局信息显示，湖北芯陶科技有限公司申请一项名为“静电卡盘及包含其的三维立体分区温控设备、冷却方法”的专利，公开号CN122555429A，申请日期为2026年4月。
专利摘要显示，本发明公开一种静电卡盘以及包含该静电卡盘的三维立体分区温控设备，静电卡盘包括三维冷却管路系统，该系统包括上层冷却管路和下层冷却管路，分别通过上层循环系统和下层循环系统独立控温，且根据上层循环系统和下层循环系统的温度相对大小值的不同具有三种工作模式。本发明的静电卡盘以及包含该静电卡盘的三维立体分区温控设备，响应速度大幅提高，且能够精细化调温，温度均匀性显著提升，降低了能耗，适用于多种工艺。
天眼查资料显示，湖北芯陶科技有限公司，成立于2023年，位于武汉市，是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本20000万人民币。通过天眼查大数据分析，湖北芯陶科技有限公司参与招投标项目11次，财产线索方面有商标信息11条，专利信息26条，此外企业还拥有行政许可13个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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