国家知识产权局信息显示,深圳市芯都意科半导体有限公司申请一项名为“一种基于探针控制优化的晶圆测试方法及系统”的专利,公开号CN122555440A,申请日期为2026年5月。
专利摘要显示,本发明公开了一种基于探针控制优化的晶圆测试方法及系统。首先,获取晶圆表面激光反射数据,识别反射差异以提取蚀刻纹理信息,并据此分析各区域纹理复杂度与电力波动敏感性,从而确定探针测试点位集合。随后,控制探针对点位进行接触测试,采集接触电阻和探针形变量数据,计算位移偏移量并进行探针位置校正。最后,使用校正后的探针完成测试,构建区域电性异质图谱,以评估晶圆生产质量。本发明能自适应优化测试点位与接触位置,有效提升测试精度与效率,减少因表面纹理不均和接触偏移引起的误差。
天眼查资料显示,深圳市芯都意科半导体有限公司,成立于2020年,位于深圳市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市芯都意科半导体有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目4次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息26条,此外企业还拥有行政许可12个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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