北京
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国家知识产权局信息显示，上海研润光机科技有限公司;上海大学申请一项名为“基于棱镜耦合的薄膜折射率与电光系数测量仪及方法”的专利，公开号CN122505853A，申请日期为2026年6月。
专利摘要显示，本发明涉及基于棱镜耦合的薄膜折射率与电光系数测量仪及方法，属于光学测量技术领域，基于棱镜耦合的薄膜折射率与电光系数测量仪及方法，该仪器包括：光路系统，其依次设有激光器、偏振片、滤波透镜、透镜和小孔光阑；运动与样品台系统，包括θ/2θ测角仪及其上安装的集成化样品夹具模块，该模块具有由气缸驱动的压紧装置，用于使薄膜样品与直角棱镜光学贴合；探测与数据采集系统，包括用于接收反射光的光电探测器、A/D转换器和计算机。测量方法为：通过θ/2θ测角仪扫描角度并采集反射率曲线R(θ)，对曲线进行拟合求导以精确定位导模拐点角度，进而反演薄膜的折射率与厚度。本发明实现了使用单一反射探头完成薄膜光学参数的高精度、一体化测量。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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